ফ্যাব ফ্লোরে, ফটো রিজিস্ট বেক অপশনাল নয়—এটি আপনার তাপীয় বাজেট। সফট বেক বা হার্ড বেককে মাত্র ২°C বাড়ান এবং ক্রিটিকাল ডাইমেনশন কন্ট্রোল এবং সাইডওয়াল প্রোফাইলের ড্রিফট দেখুন। ওয়েফার-লেভেল ইউনিফর্মিটি হল সেই রেখা যা একটি লট শিপ হয় এবং একটি লট স্ক্র্যাপ হয়।
অন্তর্নিহিত বিষয় কী
আমরা নিখুঁত ইনফ্রারেড হিটারটি NIR নির্গমন এবং একটি কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন ডিজাইনের চারপাশে তৈরি করেছি, তাই এটি দ্রুত প্রতিক্রিয়া জানায় এবং স্থির থাকে। গাণিতিক সংখ্যা হল বেক অঞ্চলে ±0.1°C ওয়েফার-লেভেল তাপীয় ইউনিফর্মিটি—যা ওয়েফার পৃষ্ঠে মাপা হয়, হিটার পৃষ্ঠে নয়। এটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100 কম্প্যাটিবল, ধন্যবাদ কম আউটগ্যাসিং উপকরণ এবং সিল করা, কণাহীন স্থাপত্যের জন্য। শূন্য কণা উৎপাদন ইন-সিটু মেট্রোলজি দ্বারা যোগ্যতা চলাকালীন নিশ্চিত করা হয়। সিস্টেমটি ২৪/৭ চলে শূন্য অপ্রত্যাশিত ডাউনটাইম সহ, এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা বন্ধ-লুপ নিয়ন্ত্রণ দ্বারা লক করা থাকে যা প্রতিটি সাইকেলকে স্পেকের উপর রাখে।
লিথোগ্রাফি এবং প্যাকেজিংয়ে এটি কেন কাজ করে
লিথোগ্রাফিতে, আপনার একটি ধারাবাহিক সফট বেক প্রয়োজন ফটো রিজিস্টের ভিস্কোসিটি এবং আঠালোতা সমন্বয় করার জন্য এক্সপোজারের আগে। প্যাকেজিংয়ে, হার্ড বেকটি আউটগ্যাসিং বা ডেলামিনেশন ছাড়াই কিউর করতে হবে। এই হিটারটি তাপমাত্রার প্রোফাইল স্থির রাখে, তাই লাইন-টু-লাইন এবং লট-টু-লট ভেরিয়েশন কমে যায়। এর ফলস্বরূপ: কম পুনরায় কাজ, টাইটার সিডি বিতরণ, এবং আপনি যে উৎপাদন পরিকল্পনা করতে পারেন। শক্তির ব্যবহারও কমে যায়—সেটপয়েন্টে দ্রুত পৌঁছান, ওভারশুট ছাড়াই ধরে রাখুন, এবং চেম্বারের তাপীয় লোড নিয়ন্ত্রণে রাখুন।
যা আপনি সাজিয়ে রাখতে চাইবেন
স্থাপনাটি টুল ইন্টারফেস মেলানো এবং লাইন ভোল্টেজ স্থিরতা নিশ্চিত করার উপর নির্ভর করে; পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা মূল শক্তি ±2% এর মধ্যে থাকতে হবে। আপনি সেরা কর্মক্ষমতা পান যখন হিটারটি ওয়েফার পৃষ্ঠের সাথে সমন্বিত থাকে এবং রিফ্লেক্টরগুলি পরিষ্কার থাকে। আপনার নির্দিষ্ট চাক এবং প্রক্রিয়া স্তরের জন্য তাপীয় প্রোফাইল ম্যাপ করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং রান পরিকল্পনা করুন।