৩০০ মিমি লাইনে, সফ্ট বেকিং-এর সময় অর্ধ-ডিগ্রির মতো তাপমাত্রা-পরিবর্তন বা হার্ড বেকিং-এর সময় ধীর গতিতে তাপমাত্রা বাড়ানোই যথেষ্ট; এর ফলে CD-গুলো নষ্ট হয়ে যায়। আমরা টুইন-টিউব, গোল্ড-কোটেড ল্যাম্প তৈরি করেছি; এটা প্রতিটি শিফটে ঘটে যাওয়া তাপমাত্রা-সংক্রান্ত সমস্যাগুলো দূর করে।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ? টুইন-টিউব, গোল্ড-কোটেড ল্যাম্পটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড রশ্মি নির্গত করে; এই রশ্মিগুলো সরাসরি ফটোরেজিস্ট ও ফিল্মগুলোতে প্রবেশ করে। গোল্ড কোটিংটি ইনফ্রারেড রশ্মিগুলোকে আবার লক্ষ্যবস্তুর দিকে প্রতিফলিত করে; ফলে দক্ষতা বৃদ্ধি পায় এবং ল্যাম্পের তাপমাত্রা কমে যায়—এর ফলে কণা-সংক্রান্ত ঝুঁকি কমে যায়।
ওয়েফারের ক্ষেত্রে, সেটপয়েন্টে ±০.১°C এর মতো সামঞ্জস্য বজায় থাকে; দরজা খোলা/বন্ধ হওয়ার পরও এটা দ্রুত স্থিতিশীল হয়ে যায়। ৫,০০০+ ঘণ্টা ধরে এর আউটপুট স্থিতিশীল থাকে; তীব্রতার পরিবর্তন ৫% এর কম হয়। ফলে প্রক্রিয়াটি বারবার চালানো যায়, আর নিয়মিত কোনো সামঞ্জস্য করার দরকার হয় না।
এটা ট্র্যাক ওভেন ও ড্রাইং মডুলগুলোতে ব্যবহৃত হয়। এটা ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০-এর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; স্বাভাবিক বায়ুপ্রবাহের অধীনে এটা কোনো কণা উৎপন্ন করে না।
কেন এটা কাজ করে? ওয়েফার শুকানোর সময়, ল্যাম্পটি ফিল্মের উপরিভাগের আর্দ্রতা দূর করে; ফলে তাপমাত্রা-সংক্রান্ত সমস্যাগুলো দূর হয়। লিথোগ্রাফিতে, এটা সফ্ট বেকিং ও হার্ড বেকিং উভয় প্রক্রিয়াতেই সঠিক তাপমাত্রা বজায় রাখে; ফলে স্ট্যান্ডিং ওয়েভগুলো কমে যায় এবং প্রোফাইল নিয়ন্ত্রণ ভালো হয়।
ফলে বেকিং সময় কমে যায়, শক্তি খরচ কমে যায়, এবং নষ্ট হওয়া ওয়েফারের পরিমাণও কমে যায়। প্রতিটি শিফটে রেসিপি সামঞ্জস্য করার দরকার কমে যায়; কারণ ল্যাম্পটি প্রতিটি শিফটে একই তাপমাত্রা বজায় রাখে।
কী বিষয়গুলো লক্ষ্য করা উচিত? ল্যাম্পটিকে রিফ্লেক্টরের গঠন ও ওভেনের বায়ুপ্রবাহের সাথে সামঞ্জস্য করতে হবে। যদি রিফ্লেক্টরটি ঠিক না থাকে, তাহলে হট স্পট দেখা দেবে। যদি বায়ুপ্রবাহ কম থাকে, তাহলে ল্যাম্পের তাপমাত্রা বৃদ্ধি পাবে এবং এর আয়ু কমে যাবে।
গোল্ড কোটিংটি টিকে থাকে; কিন্তু এটা সলভেন্ট ও তীব্র পরিষ্কারকগুলো সহ্য করতে পারে না। অনুমোদিত পদ্ধতিতেই পরিষ্কার করতে হবে; কোটেড অংশটিকে স্পর্শ করা উচিত নয়। সঠিকভাবে বসানো হলে, টুইন-টিউব, গোল্ড-কোটেড ল্যাম্পটি ২৪/৭ কাজ করতে পারে; প্রক্রিয়াটি নির্দিষ্ট স্থানেই থাকে।