ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণে আমরা কেন IR ব্যবহার করি?
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন কেন্দ্রগুলোতে “পরিষ্কার” থাকা কেবল একটি লক্ষ্য নয়—এটাই সবকিছু। যদি শুকানো বা প্রক্রিয়াকরণের সময় সামান্যতম অবশিষ্টাংশ থেকে যায়, তাহলে সমস্যা দেখা দেয়। এজন্যই আমরা নির্ভুল IR সেন্সর ও ইমিটার ব্যবহার করি। এর ফলে আমরা রাসায়নিক দ্রবণ ও দহন চালিকাগুলো ব্যবহার করার দরকার হয় না।
বাতাস গরম করার কথা ভুলে যান।
বেশিরভাগ মানুষ ওভেনের কথা ভাবেন; যেখানে বাতাসকে গরম করে ওয়েফারটিকে গরম করা হয়। কিন্তু এটা ধীর ও জটিল প্রক্রিয়া।
IR-এর ক্ষেত্রে ব্যাপারটা ভিন্ন। এটা তড়িৎচুম্বকীয় বিকিরণ ব্যবহার করে সাবস্ট্রেটের অভ্যন্তরের অণুগুলোকে নড়াচড়া করায়। এটা দ্রুত হয়। আর, এখানে কোনো হিটিং এলিমেন্ট নেই; ফলে ক্লিনরুমের বাতাস দূষিত হয় না। যদি আপনি “সবুজ” নীতি অনুসরণ করতে চান, অথবা রুমে ধাতব দূষণ না আসানো চান, তাহলে এটাই একমাত্র উপায়।
লক্ষ্যবস্তুকে গরম করুন, পুরো রুমকে নয়।
আরেকটি দারুণ ব্যাপার হলো: আমরা তরঙ্গদৈর্ঘ্য নিয়ন্ত্রণ করতে পারি। সমগ্র ওয়েফারকে গরম করার পরিবর্তে, আমরা অ্যাডহেসিভ বা ফটোরেজিস্টের নির্দিষ্ট অংশগুলোকেই গরম করি। এতে অনেক শক্তি সাশ্রয় হয়। আপনি কেবল ৩০০ মিমি আকারের একটি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ করার জন্য বিশাল ধাতব চেসিসটিকে গরম করার ঝামেলায় পড়বেন না। আর, যেহেতু এই মডিউলগুলো খুবই ছোট, তাই আপনি বড় কনভেকশন ওভেনগুলো বাদ দিয়ে জায়গা সাশ্রয় করতে পারেন। আপনার HVAC সিস্টেমও আপনাকে ধন্যবাদ জানাবে।
কিন্তু এখানেও একটি সমস্যা রয়েছে…
উচ্চ-তীব্রতার IR ব্যবহার করলে ওয়েফারগুলো দ্রুত প্রক্রিয়াকৃত হয়। কিন্তু এতে তাপ নিয়ন্ত্রণ করা কঠিন হয়ে যায়। যদি সেন্সরগুলো সামান্যতম ভুল হয়, তাহলে কিছু জায়গায় অতিরিক্ত তাপ সৃষ্টি হয়। আর এর ফলে ওয়েফারগুলো বিকৃত হয়ে যায়। এটা এড়াতে হলে, এই ইমিটারগুলোকে উচ্চ-গতির PID কন্ট্রোলারগুলোর সাথে ব্যবহার করতে হয়।
আরেকটি পরামর্শ: ওয়্যারিংয়ে সাশ্রয় করবেন না। শিল্ডযুক্ত কেবল ব্যবহার করুন। নইলে EMI নয়েজ সেন্সরগুলোতে ঢুকে গিয়ে ডেটা নষ্ট করতে পারে। এটা ছোট ব্যাপার মনে হলেও, এটাই নিখুঁত পণ্য ও নিকৃষ্ট মানের পণ্যের মধ্যে পার্থক্য।