Na lince o délce 300 mm stačí poloviční odchylka teploty během procesu měkkého vypalování nebo pomalého přechodu k procesu tvrdého vypalování k tomu, aby došlo k posunu CD, což způsobuje problémy a snižuje výtěžnost. Vytvořili jsme dvoutrubkovou lampu s zlatým povlakem, která eliminuje tyto termální vlivy během každé směny.
Co je technicky důležité
Dvoutrubková lampa s zlatým povlakem vyzařuje krátkovlnné infračervené záření, které přímo působí na fotografické filmy. Zlatý povlak odráží infračervené záření zpět na cílový povrch, čímž se zvyšuje efektivita a snižuje se teplota trubek – to zase snižuje riziko vzniku částic. Na celém povrchu waferu dosahujeme rovnosti teploty ±0,1 °C, a tato hodnota se rychle stabilizuje po otevření a zavření dveří. Výkon lampy zůstává konstantní po dobu více než 5 000 hodin, s odchylkou intenzity menší než 5 %, takže proces může probíhat bez nutnosti neustálé úprav.
Lampa se může použít v standardních dvoulamпových zařízeních v sušicích modulech. Je kompatibilní s prostředím třídy 1–100 a za normálních podmínek vytváření proudu vzduchu nevytváří žádné částice.
Proč to funguje v praxi
Při sušení waferů lampa odstraňuje povrchovou vlhkost, aniž by poškodila filmy, čímž se snižují vady, které omezují efektivitu procesu. V litografii umožňuje provádět procesy měkkého a tvrdého vypalování s menšími termálními odchylkami, což snižuje vznik vlnových efektů a umožňuje lepší kontrolu profilu.
Výsledkem jsou kratší cykly vypalování, nižší spotřeba energie a méně odpadních produktů. Úpravy receptury mezi jednotlivými série jsou minimální a profil zůstává stabilní, protože lampa opakuje stejný termální profil po každé směně.
Na co si dát pozor
Je potřeba ladit lampu podle geometrie reflektoru a průtoku vzduchu v troubě. Pokud je reflektor špatně umístěn, objeví se horké body. Pokud je průtok vzduchu slabý, teplota trubek stoupá a jejich životnost se zkracuje.
Zlatý povlak drží, ale nenávidí rozpouštědla a agresivní čištění. Používejte pouze schválené metody čištění a nepokoušejte se dotknout povrchu s povlakem. Při správné instalaci může lampa pracovat 24/7 s předvídatelnou údržbou a proces zůstane v požadovaném rozmezí.