In der Fertigungsstätte sind die Prozesse des Weichbrennens und Hartschmelzens keine einfachen „thermischen Schritte“. Es handelt sich dabei vielmehr um Faktoren, die den Ertrag beeinflussen. Eine Abweichung von 1°C während des Brennvorgangs kann dazu führen, dass kritische Abmessungen verändert werden. Zudem kann die Bildung von Partikeln während des Erhitzungsprozesses dazu führen, dass die Chips bereits vor dem Schneiden beschädigt werden. Man benötigt daher einen Heizer, der die thermischen Anforderungen berücksichtigt und die Regeln des Reinraumkonzepts einhält.
Wir haben unseren Heizer für die Fertigungsstätte mit Kurzwellen-Infrarotquarzemitttern sowie einer System zur erzwungenen Luftzirkulation ausgestattet. Dadurch bleibt die Temperatur auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1°C konstant. Die Temperaturgenauigkeit beträgt ±0,5°C – somit bleibt das gleiche thermische Profil von Charge zu Charge gleich.
Die Materialien des Behälters geben nur geringe Mengen an Gasen ab, und der Luftstrom ist HEPA-kompatibel. Dadurch bleibt die Anzahl der Partikel im Bereich von Klasse 1–100. Eine Null-Partikel-Produktion ist kein bloßer Slogan – sie wird durch interne Filter sowie Oberflächen erreicht, die keinen Schmutz in ihren Ritzen ansammeln. Der Energieverbrauch wird auf das jeweilige Verfahren abgestimmt, sodass unnötige Wärmeenergien vermieden werden und die Betriebskosten vorhersehbar bleiben.
Bei der Fertigung werden Photoresistmaterialien unter strengen Zeit- und Temperaturvorgaben verarbeitet. Unser Heizer sorgt dafür, dass die Temperaturen während des Brennvorgangs stets innerhalb der vorgegebenen Grenzen bleiben – dadurch werden Abweichungen minimiert und der Ertrag verbessert. Die Kompatibilität mit Reinräumen sorgt außerdem dafür, dass die Anzahl der Partikel gering bleibt – was bei fortschrittlichen Technologien besonders wichtig ist. Der Heizer ist für eine 24/7-Nutzung konzipiert, wobei die Komponenten für den Dauerbetrieb geeignet sind und die Wartungsintervalle so gestaltet sind, dass es zu keinen unerwarteten Ausfällen kommt.
Der Heizer benötigt eine stabile Stromversorgung sowie eine Anbindung an das Lüftungssystem, die den Anforderungen eines Reinraums entspricht. Anpassungen hängen vom Aufbau der Anlage ab und können zu kurzen Ausfallzeiten führen. Die Schnittstellen sowie das Gaspanel sollten zur bestehenden Infrastruktur passen.
Wir liefern technische Zeichnungen sowie eine Checkliste zur Inbetriebnahme, damit die Integration einfacher erfolgt. Planen Sie jedoch bereits im Voraus die notwendigen Anschlüsse – andernfalls wird die Produktion beeinträchtigt.