Wie man das Maximum aus der Heizung mit Halbleiterwafern herausholt
Beim Arbeiten mit Halbleiterwafern geht es nicht nur darum, die Hitze zu erhöhen – vielmehr ist wichtig, wohin diese Hitze tatsächlich gelangt.
Die meisten Standardreflektoren streuen das Infrarotlicht einfach überallhin – das ist eine enorme Energieverschwendung. Wir gehen dabei anders vor: Durch den Einsatz von mit Gold überzogenen Reflektoren ändern wir die Art und Weise, wie die Energie sich verhält. Anstatt dass die Hitze wild umherwandert, wird ein viel größerer Prozentsatz des Infrarotlichts direkt zurück auf die Wafer gelenkt.
Warum Gold?
Gold hat eine hervorragende Reflexionsfähigkeit gegenüber langwelligem Infrarotlicht. Ohne diese Beschichtung saugt der Heizelementkörper die Hitze einfach auf – mit dieser Beschichtung hingegen wird die Energie in einen schmalen Fokuspunkt geleitet. Dadurch erhalten Sie mehr Leistung pro Watt. Das ist großartig, denn so können Sie die gewünschte Temperatur schneller erreichen, ohne den Spannungspegel so hoch treiben zu müssen, dass die Heizelemente beschädigt werden könnten.
Das Probleml mit den Kabeln
Wenn man so viel Hitze konzentriert, wird die Umgebung für die elektrischen Leitungen sehr belastend. Wenn man Standard-PVC- oder Silikonisolierung verwendet, schmilzt diese oder beginnt Gase abzugeben. Dadurch kann es bereits nach wenigen Wochen zu Kurzschlüssen kommen. Deshalb verwenden wir für diese Heizgeräte Kabel mit Teflonummantelung. Teflon kann die Hitze neben den Goldreflektoren problemlos aushalten – dadurch bleibt das Stromkreislaufsystem stabil und es entstehen keine Wartungsprobleme.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte
Diese Art der Heizung bringt zwar Vorteile mit sich – doch es gibt auch Nachteile. Da der Wärmestrom viel intensiver ist, erfolgt die Erwärmung schneller – was großartig ist – doch dadurch wird auch mehr Druck auf die Thermosensoren ausgeübt. Falls Ihr PID-Regler nicht für diese höhere Geschwindigkeit eingestellt ist, könnten Sie die gewünschte Temperatur überschreiten. Außerdem sollten Sie sicherstellen, dass Ihr Kühlsystem in der Lage ist, die in der Kammer angesammelte Hitze zu bewältigen.
Wir haben diese Heizgeräte so entworfen, dass sie als einfache Ersatzgeräte für Ihre aktuellen Heizgeräte dienen können. Stellen Sie nur sicher, dass Ihre Stromversorgung ausreicht, um die erforderliche Leistung bereitzustellen – dann können Sie loslegen.