Bei einer Linienlänge von 300 mm reicht bereits eine Abweichung von einem halben Grad während des sanften Trocknungsprozesses oder beim Übergang zum intensiven Trocknungsprozess aus, um die CD-Scheiben zu beeinflussen – was wiederum zu Fehlern führt und die Güte der Produkte beeinträchtigt. Wir haben daher eine Doppelröhrenlampe mit Goldbeschichtung entwickelt, um diese thermischen Unwägbarkeiten auszuschließen.
Was technisch wichtig ist:
Die Doppelröhrenlampe mit Goldbeschichtung strahlt kurzwelliges Infrarot aus, das direkt in den Photoresisten und die Schichten eindringt. Die Goldbeschichtung reflektiert das Infrarot zurück auf das Zielobjekt – dadurch steigt die Effizienz und die Temperatur der Röhre sinkt. Dadurch wird das Risiko von Partikeln reduziert. Auf der gesamten Waferfläche wird eine Konstanz von ±0,1°C erreicht; nach dem Öffnen und Schließen der Tür stabilisiert sich die Temperatur schnell. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant, wobei die Intensität nur um weniger als 5% abnimmt. Dadurch kann der Prozess ohne ständige Anpassungen wiederholt werden.
Die Lampe passt in Standard-Doppellampenhalterungen in Ofenanlagen und Trockenmodule. Sie ist kompatibel mit Reinräumen der Klassen 1–100. Unter normalen Luftströmungen entstehen keine Partikel.
Warum es funktioniert:
Beim Trocknen der Wafer entfernt die Lampe die Oberflächenfeuchtigkeit, ohne die Schichten zu schädigen. Dadurch werden Fehler vermieden, die sonst den thermischen Prozess stören würden. Bei der Lithografie ermöglicht die Lampe einen präziseren thermischen Prozess, was wiederum zu besseren Ergebnissen führt. Dadurch werden kürzere Trocknungszyklen benötigt, die Energieverbrauch sinkt und es entstehen weniger Ausschussprodukte. Zwischen den Chargen sind weniger Anpassungen notwendig, und die Genauigkeit der Prozesse bleibt hoch, da die Lampe immer denselben thermischen Prozess wiederholt.
Worauf man achten muss:
Die Lampe muss zur Geometrie des Reflektors sowie zur Luftströmung im Ofen passen. Wenn der Reflektor nicht richtig eingestellt ist, entstehen Hotspots. Wenn die Luftströmung zu schwach ist, steigt die Temperatur der Röhre an, was deren Lebensdauer verkürzt. Die Goldbeschichtung hält zwar stand, aber sie verträgt keine Lösungsmittel oder aggressive Reinigungsmethoden. Verwenden Sie nur zugelassene Reinigungsmethoden und berühren Sie die beschichtete Oberfläche nicht. Wenn die Lampe richtig installiert ist, kann sie 24/7 betrieben werden, und der Prozess verläuft konstant.