Warum wir die IR-Behandlung bei der Waferverarbeitung nutzen
In Halbleiterfabriken ist „Sauberkeit“ nicht nur ein Ziel – sie ist vielmehr entscheidend. Wenn während des Trocknens oder der Behandlung auch nur eine winzige Menge an Rückständen zurückbleibt, entsteht ein Problem. Deshalb setzen wir auf präzise IR-Sensoren und -Emitter. Dadurch können wir chemische Lösungsmittel sowie Heizelemente ganz verzichten.
Vergessen Sie das Erwärmen der Luft.
Die meisten Menschen denken an Öfen, in denen die Luft erhitzt wird, in der Hoffnung, dass die Wärme auf den Wafer übertragen wird. Das ist langsam und unpräzise.
IR ist anders: Es nutzt elektromagnetische Strahlung, um die Moleküle im Substrat selbst in Bewegung zu setzen. Das geschieht sofort. Zudem gibt es keine Heizelemente, die Schadstoffe in die reine Raumluft freisetzen. Wenn man versucht, die Umweltvorschriften einzuhalten oder metallische Verunreinigungen aus dem Raum fernzuhalten, ist dies geradezu die einzige Möglichkeit.
Wir zielen auf das Zielobjekt – nicht auf den ganzen Raum.
Das Tolle daran: Wir können die Wellenlänge anpassen. Anstatt den gesamten Waferträger zu erhitzen, konzentrieren wir uns auf die spezifischen Absorptionsbänder des Klebers oder des Photoresists. Damit wird genau das erhitzt, was benötigt wird.
Das spart enorm viel Energie. Man verschwendet keinen Strom damit, einen riesigen Metallrahmen zu erwärmen, nur um einen 300-mm-Wafer zu behandeln. Da die Module sehr kompakt sind, kann man riesige Konvektionsöfen entfernen und dadurch Platz gewinnen. Auch das Lüftungssystem wird es Ihnen danken.
Der Nachteil (denn es gibt immer einen Nachteil).
Hohe Intensitäten der IR-Strahlung sind zwar effektiv, um die Wafer schneller zu behandeln – doch dadurch wird die Temperaturkontrolle schwieriger. Wenn die Sensoren auch nur leicht fehlschlagen, entstehen lokale Hotspots. Und Hotspots führen dazu, dass die Wafer verformt werden. Um das zu verhindern, müssen diese Emitter mit hochwertigen PID-Reglern kombiniert werden, damit die Temperatur nicht zu stark ansteigt.
Noch ein Tipp: Kaufen Sie keine billigen Kabel. Verwenden Sie abgeschirmte Kabel. Andernfalls kann elektromagnetisches Rauschen in die Sensoren eindringen und die Messungen beeinträchtigen. Es handelt sich dabei um eine kleine Details, aber sie machen den Unterschied zwischen einer perfekten Charge und einem Haufen Schrott aus.