En una línea de 300 mm, un desvío de medio grado durante el proceso de cocción suave o durante la transición hacia la cocción intensiva es suficiente para hacer que los CD se muevan, lo cual puede causar problemas y reducir la calidad del producto final. Por eso desarrollamos una lámpara de doble tubo recubierta de oro, que permite eliminar esa incertidumbre térmica en cada ciclo de producción.
Lo que realmente importa, desde el punto de vista técnico La lámpara de doble tubo recubierta de oro emite ondas infrarrojas de corta longitud de onda, las cuales actúan directamente sobre el fotoresistente y las películas utilizadas en el proceso. El revestimiento de oro refleja las ondas infrarrojas hacia el objetivo, lo que aumenta la eficiencia y disminuye la temperatura máxima de la lámpara. Esto, a su vez, reduce el riesgo de formación de partículas indeseadas.
Se logra una uniformidad de ±0.1°C en toda la superficie del wafer, y esta uniformidad se mantiene incluso después de que la puerta del horno se abra y cierre. La luminosidad de la lámpara permanece constante durante más de 5,000 horas, con un desvío inferior al 5%. Por lo tanto, no es necesario ajustar constantemente la configuración de la lámpara.
Esta lámpara se puede instalar en los sistemas de horneado estándar. Es compatible con salas limpias de categoría 1–100, y bajo condiciones normales de flujo de aire, no genera partículas indeseadas.
Por qué funciona bien en la práctica En el proceso de secado de los wafers, la lámpara elimina la humedad de la superficie sin dañar las películas utilizadas. En el proceso de litografía, permite realizar procesos de cocción suave e intensiva con un margen térmico más estrecho, lo que reduce las ondas estacionarias y permite un mejor control del perfil térmico.
Como resultado, se obtienen ciclos de cocción más cortos, menor consumo energético y menos productos defectuosos. También hay menos necesidad de ajustes en las recetas utilizadas, ya que la lámpara mantiene siempre el mismo perfil térmico.
Qué hay que tener en cuenta Es importante que la lámpara se adapte a la geometría del reflector y al flujo de aire del horno. Si el reflector no está correctamente posicionado, se producirán puntos calientes. Si el flujo de aire es insuficiente, la temperatura de la lámpara aumentará y su vida útil disminuirá.
El revestimiento de oro es resistente, pero no tolera solventes ni métodos de limpieza agresivos. Es necesario utilizar métodos de limpieza aprobados y evitar tocar la superficie recubierta. Si se instala correctamente, la lámpara de doble tubo recubierta de oro puede funcionar 24/7, con mantenimiento predecible, y el perfil térmico permanecerá estable.