در سالن تولید، پخت فوتورزیست انتخابی نیست—این بودجه حرارتی شماست. با افزایش دما در پخت نرم یا پخت سخت تنها ۲ درجه سانتیگراد، کنترل ابعاد بحرانی و تغییر در پروفایل دیواره را مشاهده کنید. یکنواختی در سطح ویفر خط مرزی بین یک دسته که ارسال میشود و یک دسته که دور ریخته میشود، است.
آنچه در زیر سطح اهمیت دارد
ما بخاری دقیق مادون قرمز را بر اساس انتشار NIR و طراحی کوارتز-هالوجن ساختهایم، بنابراین به سرعت واکنش نشان میدهد و ثابت نگه میدارد. عددی که اهمیت دارد، یکنواختی حرارتی در سطح ویفر به میزان ±۰.۱ درجه سانتیگراد در ناحیه پخت است—که در سطح ویفر اندازهگیری میشود، نه سطح بخاری. این سیستم با توجه به مواد کمگازساز و معماری بسته، بدون ذرات، با کلاس تمیز ۱ تا ۱۰۰ سازگار است. تولید صفر ذره با مترو لوژی درونمحل در طول دورههای تأیید اعتبار تأیید شده است. این سیستم به صورت ۲۴ ساعته و ۷ روز هفته با صفر زمان تعطیلی غیرمترقبه کار میکند و تکرارپذیری با کنترل حلقه بسته که هر چرخه را در مشخصات نگه میدارد، قفل شده است.
چرا این در لیتوگرافی و بستهبندی کار میکند
در لیتوگرافی، به یک پخت نرم یکنواخت نیاز دارید تا ویسکوزیته و چسبندگی فوتورزیست را قبل از تابش تنظیم کنید. در بستهبندی، پخت سخت باید بدون گازساز و جداسازی درمان شود. این بخاری پروفایل دما را ثابت نگه میدارد، بنابراین تغییرات بین خط و دسته کاهش مییابد. نتیجه: کارهای اصلاحی کمتر، توزیع CD متراکمتر و بازدهی که میتوانید بر اساس آن برنامهریزی کنید. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد—به سرعت به نقطه تنظیم برسید، بدون افزایش دما نگه دارید و بار حرارتی اتاق را تحت کنترل نگه دارید.
چیزهایی که باید هماهنگ کنید
نصب به تطبیق رابط ابزار و تأیید ثبات ولتاژ خط بستگی دارد؛ تکرارپذیری به ماندن ولتاژ شبکه در ±۲% وابسته است. بهترین عملکرد را هنگامی به دست میآورید که بخاری به سطح ویفر تراز شود و بازتابدهندهها تمیز بمانند. یک دوره کوتاه راهاندازی را برای نقشهبرداری پروفایل حرارتی به چک خاص و دسته فرآیند خود برنامهریزی کنید.