Sur le terrain, ce soft bake à 90°C ne reste pas « conforme » quand il dérive d’un demi-degré. Cela se traduit par une dérive du linewidth, des problèmes d’uniformité de CD et des rebuts. Vous avez besoin d’une stabilité thermique maîtrisée — cycle après cycle, wafer après wafer.
Ce qui importe, techniquement
Nous concevons les éléments chauffants et ensembles en visant l’uniformité et la répétabilité au niveau wafer. L’objectif est ±0,1°C sur la zone active, afin que la photorésine reçoive toujours le même budget thermique à chaque cycle.
Les technologies quartz et infrarouge ondes courtes offrent des rampes rapides et propres pour le soft bake et le hard bake — sans points chauds. Les composants sont certifiés pour salle blanche Classe 1–100 et ne génèrent aucune particule, ce qui n’augmente pas les risques sur le rendement. La fiabilité est conçue pour un fonctionnement 24/7, avec une durée de vie documentée et une sortie stable après des milliers d’heures.
Pourquoi cela fonctionne en lithographie
L’étape de cuisson définit la base pour l’exposition et le développement. Un contrôle rigoureux de la température améliore la maîtrise des dimensions critiques et réduit les retouches.
Une montée en température plus rapide réduit le temps de cycle sans dépasser les pics, ce qui protège les couches fines et diminue la consommation d’énergie. Avoir des pièces de rechange qualifiées disponibles via commande en ligne réduit les délais — vous maintenez ainsi la production sans arrêts non planifiés. Fenêtres de processus prévisibles. Moins d’excursions.
À garder en tête
La compatibilité dépend de la configuration exacte de l’équipement, de la géométrie de la chambre et de l’interface de contrôle. Vérifiez la tension, le type de connecteur et le volume d’encombrement avant de commander.
Certaines mises à jour nécessitent des ajustements mineurs sur l’équipement pour préserver l’accouplement thermique et garantir l’intégrité des interlocks de sécurité. Nous fournissons des dessins dimensionnels et des notes d’interface pour que l’intégration reste simple.