על רצפת הייצור, תהליך הקלייה של הפוטו-רסיסט אינו אופציונלי - זהו התקציב התרמי שלך. דחוף קלייה רכה או קלייה קשה רק ב-2°C וצפה בתהליך בקרת ממדי קריטי וסטיית פרופיל קירות צד. אחידות ברמת הוופרו היא הקו המפריד בין קבוצה שנשלחת לזו שנזרקת.
מה שחשוב מתחת למכסה המנוע
בניתם את מחמם האינפרא אדום בדיוק סביב פליטת NIR ועיצוב קוורץ-הלוגן, כך שהוא מגיב במהירות ומחזיק יציב. המספר שחשוב הוא אחידות תרמית ברמת הוופרו של ±0.1°C בכל אזור הקלייה - נמדד במישור הוופרו, ולא על פני השטח של המחמם. הוא תואם למחלקת נקיון Class 1–100, בזכות חומרים בעלי פליטת גזים נמוכה ואדריכלות סגורה וללא חלקיקים. יצירת חלקיקים אפסית מאומתת עם מדידות in-situ במהלך ריצות הסמכה. המערכת פועלת 24/7 עם אפס זמן השבתה בלתי מתוכנן, וחזרתיות מגודרת על ידי בקרת לולאה סגורה ששומרת כל מחזור על המפרט.
למה זה עובד בליתוגרפיה ובאריזות
בליתוגרפיה, אתה זקוק לקלייה רכה עקבית כדי לכוון את צמיגות הפוטו-רסיסט והדבקות לפני החשיפה. באריזות, הקלייה הקשה חייבת להתייבש מבלי לפלוט גזים או להתרחב. מחמם זה שומר על פרופיל הטמפרטורה יציב, כך שהשוני בין קו לקו ובין קבוצה לקבוצה מצטמצם. התוצאה: פחות תיקונים, פיזור CD הדוק יותר, ותפוקה שניתן לתכנן סביבה. שימוש באנרגיה גם יורד - מגיע לנקודת ההגדרה במהירות, מחזיק מבלי לחרוג, ושומר על העומס התרמי של התא במעקב.
הדברים שתרצה לתאם
ההתקנה מתמקדת בהתאמת ממשק הכלים ואישור יציבות מתח הקו; החזרתיות תלויה במתח המערכת שנשאר בטווח של ±2%. אתה מקבל את הביצועים הטובים ביותר כאשר המחמם מיושר למישור הוופרו והמשקפים נשארים נקיים. תכנן ריצה קצרה של הפעלה כדי למקד את הפרופיל התרמי לצ’אק ולתהליך הספציפיים שלך.