בקו באורך 300 ממ, סטייה של חצי מעלה במהלך החימום הרך או במעבר לחימום החזק יכולה לגרום להזזת ה-CDs, להיווצרות של חלקיקים, ולפגיעה באיכות המוצר. לכן פיתחנו נורה עם שני צינורות וציפוי זהב, שמסייעת להפחית את אי-הוודאות התרמית במהלך התהליכים השונים.
מה חשוב מבחינה טכנית? הנורה עם שני צינורות וציפוי זהב פולטת קרינת אינפרא-אדום בגלי אורך קצר, שחודרת ישירות לחומרי הפוטורזיסט ולשכבות השונות. הציפוי הזהב מחזיר את קרינת האינפרא-אדום חזרה למטרה, כך שהיעילות עולה וטמפרטורת הנורה יורדת – מה שמפחית את הסיכון להיווצרות חלקיקים.
על פני הוואפר, אנו משיגים אחידות של ±0.1°C בטמפרטורה הנדרשת, והטמפרטורה נשארת יציבה גם לאחר פתיחה וסגירה של הדלת. ההפקה נשארת יציבה לאורך 5,000 שעות ויותר, עם סטייה של פחות מ-5% בעוצמת האור – כך שהתהליך יכול להתקיים ללא צורך בתכנות מחדש של הנורה.
הנורה יכולה להותקן במערכות רגילות עם שתי נורות, בתנורים ובמודולי יבוש. היא תואמת חדרי ניקיון מסוג 1–100, ובתנאי זרימת אוויר תקינה היא אינה יוצרת חלקיקים.
למה זה עובד בפועל? בתהליך יבוש הוואפר, הנורה מסירה את הלחות מהפנים של הוואפר, מבלי לפגוע בשכבות השונות שעליו. כך נמנעות תקלות שעלולות לפגוע בתהליך. בתהליך הליתוגרפיה, הנורה מאפשרת חימום רך וחימום חזק בטמפרטורות קבועות, מה שמפחית את הגלים התרמיים ומאפשר שליטה טובה יותר על התהליך.
כתוצאה מכך, משך החימום קצר יותר, צריכת האנרגיה נמוכה יותר, ויש פחות חומרים שאינם תקינים. יש צורך פחות בשינויים בהרכב החומרים בין הסבבים השונים, והשליטה באיכות המוצר טובה יותר, מכיוון שהנורה מחזירה על אותו תהליך תרמי בכל פעם.
על מה צריך לשים לב? יש להתאים את הנורה לגאומטריה של המחזיר ולזרימת האוויר בתנור. אם המחזיר אינו תקין, יהיו אזורים חמים. אם זרימת האוויר חלשה, טמפרטורת הנורה עולה וחיי הנורה קצרים יותר.
הציפוי הזהב עמיד, אך הוא אינו עמיד לחומרי ניקוי אגרסיביים. יש להשתמש רק בשיטות ניקוי מאושרות, ואין לגעת בפני השטח המצופים. אם הנורה מותקנת כראוי, היא יכולה לפעול 24/7, עם תחזוקה קבועה, והתהליך יכול להתקיים בטמפרטורות הרצויות.