लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करना कोई पूर्व-प्रक्रिया नहीं है; बल्कि यह तो लाइनविड्थ नियंत्रण हेतु आवश्यक है। यदि हॉटप्लेट में कोई विचलन हो जाए, तो सीडी की गुणवत्ता भी प्रभावित हो जाती है, और अपशिष्ट सामग्री की मात्रा भी बढ़ जाती है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने इस हीटिंग प्लेटफॉर्म को एक ही उद्देश्य के लिए बनाया है – निरंतर एवं सटीक तापमान नियंत्रण। यह प्लेटफॉर्म प्रत्येक वेफर पर तापमान को ±0.1°C की सीमा में ही बनाए रखता है; इससे सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाएँ हर बार समान ही रहती हैं। इस हीटर में क्वार्ट्ज घटकों का उपयोग किया गया है, जिससे तेज़ तापमान वृद्धि एवं सटीक तापीय नियंत्रण संभव होता है… बिना किसी गर्म बिंदु के।
यह प्लेटफॉर्म क्लीनरूम वातावरण हेतु ही डिज़ाइन किया गया है… क्लास 1–100 वाले वातावरण में भी यह कार्य कर सकता है… कम गैस उत्सर्जन एवं प्रक्रिया के दौरान कोई कण उत्पन्न नहीं होता। रीसर्कुलेटिंग एयरफ्लो एवं उच्च-दक्षता वाले ड्राइव ट्रेन के कारण ऊर्जा की खपत कम हो जाती है… जिससे तापीय जड़त्वता भी कम रहती है।
उत्पादन में इसकी उपयोगिता क्यों है?
हाई-मिक्स फैक्ट्रियों में, हर बार उत्पादन प्रक्रिया में स्थिरता ही सबसे बड़ी चुनौती है… यह प्लेटफॉर्म प्रत्येक वेफर पर तापमान को नियंत्रित करता है… जिससे फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता में सुधार होता है… एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है। तेज़ तापमान वृद्धि एवं ठंडा होने की प्रक्रिया से उत्पादन समय कम हो जाता है… जिससे प्रति घंटे अधिक उत्पादन संभव हो जाता है।
24/7 संचालन में ऊर्जा बचत भी होती है… प्रति वेफर कम किलोवॉट-घंटा ऊर्जा खपत होती है… ठंडा करने हेतु आवश्यक ऊर्जा भी कम हो जाती है… एवं बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के ही उत्पादन जारी रहता है।
व्यावहारिक विवरण:
इसकी स्थापना हेतु विशेष क्लीन ऊर्जा स्रोत एवं उचित तापीय नियंत्रण आवश्यक है… अनुपयुक्त बसबार या अनियंत्रित वातावरणीय परिस्थितियाँ गुणवत्ता पर प्रभाव डालती हैं… यह प्लेटफॉर्म अधिकांश ट्रैक फॉर्मेटों में फिट हो जाता है… लेकिन इसके एकीकरण हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… ताकि तापमान नियंत्रण प्रणाली सही ढंग से काम कर सके।
अपनी मौजूदा लिथोग्राफी प्रणाली के साथ इसे एकीकृत करने हेतु लगभग दो हफ्तों का समय आवश्यक है… ताकि पहले ही प्रयास में ही आवश्यक तापमान एवं कण-संबंधी मानक प्राप्त किए जा सकें।