Di fasilitas produksi, proses pemanasan jenis “soft bake” dan “hard bake” bukan sekadar langkah termal biasa. Proses ini merupakan faktor penting yang mempengaruhi kualitas produk. Perubahan suhu sebesar 1°C pada wafer selama proses pemanasan dapat mengubah dimensi-dimensi pentingnya. Selain itu, pembentukan partikel-partikel kecil selama proses pemanasan juga dapat merusak wafer sebelum proses pemotongan dilakukan. Oleh karena itu, diperlukan pemanas yang mampu mengontrol suhu dengan baik, sesuai dengan standar ruang bersih.
Kami merancang pemanas untuk fasilitas produksi kami menggunakan emitor inframerah berpanjang gelombang pendek dan sistem sirkulasi udara paksa. Hal ini memungkinkan suhu di seluruh permukaan wafer tetap stabil dalam rentang ±0,1°C. Ketepatan suhu mencapai ±0,5°C, sehingga profil termal yang sama akan tercipta setiap kali proses pemanasan dilakukan.
Bahan-bahan yang digunakan untuk membuat chamber tersebut memiliki karakteristik emisi gas yang rendah. Saluran udara juga dirancang agar sesuai dengan standar HEPA, sehingga jumlah partikel di dalamnya tetap rendah. Tidak adanya pembentukan partikel sama sekali bukan sekadar slogan belaka; hal ini dicapai melalui sistem filtrasi internal dan permukaan-permukaan yang tidak menyerap kotoran di celah-celahnya. Konsumsi energi pun dikendalikan agar tidak terjadi pemanasan yang berlebihan, sehingga biaya operasional tetap terkendali.
Proses pemanasan dalam fasilitas produksi membutuhkan kontrol waktu dan suhu yang tepat, serta seringnya pergantian produk yang diproses. Pemanas ini memastikan bahwa proses pemanasan berjalan sesuai spesifikasi yang ditentukan, sehingga terjadi perubahan dimensi yang minimal dan kualitas produk meningkat. Kompatibilitas dengan ruang bersih juga membantu mengurangi jumlah partikel, yang sangat penting untuk tahap produksi yang canggih. Pemanas ini dirancang untuk beroperasi 24/7, dengan komponen-komponen yang tahan lama dan jadwal perawatan yang terencana dengan baik, agar tidak terjadi gangguan operasional.
Unit pemanas ini membutuhkan pasokan listrik yang stabil dan sistem pengeluaran udara yang sesuai dengan standar ruang bersih. Proses modifikasi pada unit ini akan berbeda-beda tergantung pada tata letak fasilitas produksi, dan mungkin memerlukan waktu shutdown singkat. Pastikan antarmuka alat dan panel gasnya sesuai dengan yang sudah ada.
Kami menyediakan gambar-gambar teknis dan daftar periksa untuk memudahkan proses integrasinya. Namun, rencanakanlah penyaluran daya lebih awal; jika tidak, hal tersebut akan menghambat proses produksi.