Pada garis panjang 300 mm, pergeseran sebesar setengah derajat selama proses pemanasan ringan atau saat beralih ke proses pemanasan intensif sudah cukup untuk menggerakkan CD-konsumen, sehingga mengurangi kualitas produk yang dihasilkan. Kami menciptakan lampu berlapis emas ini agar dapat mengurangi ketidakpastian termal yang terjadi selama setiap proses produksi.
Apa yang penting secara teknis? Lampu berlapis emas ini memancarkan gelombang inframerah pendek yang langsung menembus lapisan fotoresist dan film-film lainnya. Lapisan emas tersebut memantulkan sinar inframerah kembali ke target, sehingga efisiensi meningkat dan suhu tabung turun—sehingga risiko pembentukan partikel pun berkurang.
Di seluruh permukaan wafer, suhu tetap konstan pada nilai ±0,1°C setelah pintu oven dibuka dan ditutup. Kualitas output tetap stabil selama lebih dari 5.000 jam, dengan penyimpangan intensitas kurang dari 5%. Dengan demikian, proses produksi dapat berjalan tanpa perlu penyetelan ulang secara terus-menerus.
Lampu ini dapat dipasang pada perlengkapan oven standar. Lampu ini kompatibel dengan ruang bersih kelas 1–100, dan dalam kondisi aliran udara normal, lampu ini tidak menghasilkan partikel apa pun.
Mengapa lampu ini efektif? Dalam proses pengeringan wafer, lampu ini membantu menghilangkan kelembapan di permukaan wafer tanpa merusak lapisan filmnya. Dalam proses litografi, lampu ini memungkinkan dilakukannya proses pemanasan ringan maupun intensif dengan variasi suhu yang lebih kecil, sehingga mengurangi risiko pembentukan gelombang stasioner dan memberikan kontrol yang lebih baik terhadap profil suhu.
Hasilnya adalah siklus pemanasan yang lebih singkat, penggunaan energi yang lebih rendah, serta jumlah produk cacat yang lebih sedikit. Penyesuaian resep produksi menjadi lebih jarang diperlukan, dan kemiripan pola antar batch tetap terjaga, karena lampu ini selalu menghasilkan pola suhu yang sama setiap kali digunakan.
Apa yang perlu diperhatikan? Pastikan lampu cocok dengan geometri reflektor dan arus udara di dalam oven. Jika reflektor tidak tepat, akan muncul titik-titik panas. Jika aliran udara lemah, suhu tabung akan naik, sehingga umur lampu menjadi lebih pendek.
Lapisan emas pada lampu ini cukup tahan, tetapi lapisan tersebut tidak tahan terhadap pelarut atau metode pembersihan yang keras. Gunakanlah metode pembersihan yang disarankan, dan jangan sentuh permukaan yang dilapisi emas tersebut. Jika dipasang dengan benar, lampu berlapis emas ini dapat beroperasi 24/7 dengan pemeliharaan yang mudah, sehingga proses produksi dapat berjalan sesuai dengan kebutuhan.