Mengapa Kita Menggunakan Emas untuk Mengeringkan Wafer Semikonduktor
Saat menggunakan alat untuk mencuci wafer, kita perlu mencapai keseimbangan yang tepat. Kita perlu mengeringkan permukaan wafer dengan cepat, tetapi jika proses pengeringannya dilakukan secara berlebihan, wafer akan rusak akibat tekanan termal.
Di sinilah peran perlengkapan yang kami gunakan. Kami menggunakan lampu inframerah yang tahan air, dikombinasikan dengan reflektor yang dilapisi emas. Mengapa emas? Karena emas mampu mencegah panasnya merambat ke bagian mesin, sehingga panas tersebut dapat dialirkan langsung ke wafer.
Rahasianya terletak pada proses refleksi cahaya.
Kebanyakan orang menggunakan reflektor berbahan aluminium, tetapi masalahnya adalah aluminium menyerap banyak energi inframerah. Sebaliknya, emas sangat efektif dalam memantulkan cahaya inframerah. Dengan menambahkan lapisan tipis emas, kita dapat memantulkan radiasi yang seharusnya hilang kembali ke arah wafer. Dengan demikian, panas yang diberikan menjadi lebih kuat, tanpa perlu meningkatkan tegangan lampu. Ini merupakan penerapan prinsip fisika yang cerdas.
Mengatasi Masalah “Zona Basah”
Karena lampu-lampu ini berada di lingkungan yang lembap, maka lampu-lampu ini praktis “berenang” dalam kelembapan. Jika ada setetes air yang mengenai elektroda lampu, lampu tersebut akan rusak seketika.
Kami menghabiskan banyak waktu untuk memastikan segel-segel pada lampu tersebut benar-benar kedap udara. Kami juga memperhatikan bentuk reflektor tersebut. Kami ingin agar sinar panas yang dihasilkan tetap terfokus. Dengan begitu, bagian mekanis di sekitarnya tetap dingin, dan energi tetap fokus pada wafer.
Kompromi yang Harus Diterima
Memfokuskan energi sebanyak itu merupakan hal yang berisiko. Karena emas membuat panasnya sangat intens, kita perlu berhati-hati. Jika konveyor bergerak terlalu lambat atau lampu-lampu dipasang terlalu rapat, tepi-tepi wafer bisa rusak. Anda juga perlu memastikan bahwa kipas pendingin berfungsi dengan baik, karena suhu di belakang reflektor bisa sangat tinggi.
Yang terbaik adalah bahwa perlengkapan ini dirancang untuk diganti secara mudah. Anda hanya perlu mengganti perlengkapan IR lama dengan yang baru, lalu sambungkan kabelnya. Anda akan melihat bahwa air akan menguap lebih cepat, dan panel listrik pun tidak perlu bekerja keras.