Su una linea da 300 mm, un errore di mezzo grado durante la fase di cottura leggera o durante il passaggio alla cottura intensiva è sufficiente per causare problemi ai CD, riducendo così la qualità del prodotto finito. Abbiamo creato una lampada a doppio tubo, rivestita in oro, al fine di eliminare tali incertezze termiche durante le operazioni di produzione.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
La lampada a doppio tubo, rivestita in oro, emette raggi infrarossi a breve lunghezza d’onda che vengono assorbiti direttamente dal fotoresist e dalle pellicole utilizzate. La guarnizione in oro riflette i raggi infrarossi sul bersaglio, aumentando così l’efficienza della lampada e riducendo la temperatura massima del tubo stesso. Questo, a sua volta, riduce il rischio di formazione di particelle indesiderate.
Sulla superficie del wafer si ottiene una uniformità termica di ±0,1°C, e questa rimane stabile anche dopo che la porta dell’oven si apre e si chiude. L’intensità della luce rimane costante per oltre 5.000 ore, con una variazione inferiore allo 0,5%, quindi il processo può essere ripetuto senza necessità di regolazioni continue.
La lampada può essere installata nei dispositivi standard per l’uso in forni e moduli di essiccazione. È compatibile con ambienti di tipo Cleanroom Classe 1–100, e non genera particelle in condizioni normali di flusso d’aria.
Perché funziona bene in pratica
Nel processo di essiccazione dei wafer, la lampada elimina l’umidità dalla superficie senza danneggiare le pellicole utilizzate. Inoltre, permette di eseguire le fasi di cottura leggera e intensiva con una maggiore precisione termica, riducendo così le onde stazionarie e migliorando il controllo del profilo termico del wafer.
Ciò permette cicli di cottura più brevi, un consumo energetico inferiore e meno scarti. Inoltre, le modifiche alle impostazioni di produzione tra un lotto e l’altro sono minime, e il profilo termico del wafer rimane stabile, poiché la lampada ripete sempre lo stesso schema termico.
Cose da tenere in considerazione
È importante abbinare correttamente la lampada alla geometria del riflettore e al flusso d’aria nell’oven. Se il riflettore non è correttamente posizionato, si creano zone calde sulla superficie del wafer. Se il flusso d’aria è insufficiente, la temperatura del tubo aumenta e la sua durata di vita diminuisce.
La guarnizione in oro è resistente, ma non tollera solventi o metodi di pulizia aggressivi. È necessario utilizzare solo metodi di pulizia approvati e evitare di toccare la superficie rivestita in oro. Installata correttamente, la lampada può funzionare 24/7, con una manutenzione semplice, mantenendo così il profilo termico desiderato.