Perché utilizziamo la tecnologia di polimerizzazione a raggi infrarossi per la lavorazione dei wafer
Nelle fabbriche di semiconduttori, “la pulizia” non è solo un obiettivo: è fondamentale. Se si lascia anche solo una piccolissima quantità di residui durante il processo di essiccazione o polimerizzazione, si crea un problema. Ecco perché ricorriamo a sensori ed emettitori a raggi infrarossi altamente precisi. In questo modo possiamo eliminare completamente l’uso di solventi chimici e riscaldatori a combustione.
Dimenticatevi di riscaldare l’aria
La maggior parte delle persone pensa ai forni, in cui l’aria viene riscaldata per poi trasferire il calore al wafer. È un metodo lento e poco efficiente. I raggi infrarossi, invece, utilizzano radiazioni elettromagnetiche per agire direttamente sulle molecole presenti nel substrato stesso. Il processo è istantaneo. Inoltre, non ci sono elementi riscaldanti che potrebbero produrre sostanze dannose nell’aria della camera pulita. Se si vogliono rispettare i requisiti ambientali o evitare contaminazioni metalliche, questa è davvero l’unica soluzione possibile.
Si agisce su specifiche zone, non sull’intera stanza
La cosa fantastica è che possiamo regolare la lunghezza d’onda dei raggi infrarossi. Invece di riscaldare l’intero supporto del wafer, possiamo concentrare il calore esattamente sulle aree dove è necessario. In questo modo si risparmia molta energia: non bisogna sprecare energia per riscaldare un intero supporto metallico solo per polimerizzare un singolo wafer da 300 mm. Inoltre, poiché i moduli sono molto compatti, è possibile eliminare i grandi forni a convezione e recuperare spazio prezioso. Anche il sistema di climatizzazione ne trarrà vantaggio.
L’unica controindicazione…
I raggi infrarossi ad alta intensità sono molto efficaci per accelerare il processo di polimerizzazione, ma rendono più complicata la gestione termica. Se i sensori non funzionano correttamente, si creano zone di calore localizzato. Questo può causare deformazioni nei wafer. Per evitare questo problema, è necessario utilizzare controller PID ad alta velocità per mantenere la temperatura sotto controllo.
Un ultimo consiglio: non abbassate la qualità dei cavi utilizzati. Utilizzate cavi schermati. Altrimenti, i rumori elettromagnetici potrebbero influenzare le letture dei sensori. È un dettaglio importante, ma fa la differenza tra un prodotto perfetto e uno pieno di difetti.