Anche una piccola variazione di temperatura, pari a soli 0,3°C, può modificare il profilo del fotoresist. Questo effetto si manifesta immediatamente...

Sulla linea di produzione, la soft bake a 90°C non rimane “in specifica” quando devia di mezzo grado. Si traduce in deriva della larghezza della...

Out on the line, il laser dicing si basa sulla trasformazione del budget termico in resa. Se il support heater inizia a deviare, la qualità della...