なぜウェーハ処理にIR硬化技術を使用するのか？ 半導体工場において、「清潔さ」は単なる目標ではなく、すべてを決定づける要素です。乾燥や硬化の過程でわずかな残留物が残ってしまったら、大きな問題になります。そのため、私たちは高精度なIRセンサーやエミッターを利用しています。これにより、化学溶剤や燃焼式...

化学処理エリアでの赤外線ヒーターの安全な使用方法 もし、化学洗浄ラインの周辺で赤外線ヒーターを使用しているのであれば、その危険性は既にご存知でしょう。そこでは、可燃性の溶剤や腐食性の蒸気が至る所に漂っています。 一般的な赤外線ランプでは、電極の接続部分が開放された状態になっています。爆発性の蒸気が...

熱を必要な場所に効率的に届ける方法 スマートな製造工場を構築する際、高効率なIRランプを選ぶのは簡単です。しかし本当に厄介なのは、その熱がどこに行くかを管理することです。 エネルギーが部屋全体を温めたり、機械の筐体を壊したりしては困ります。そこで役立つのがアルミニウム製の反射板です。これらは、放射...

リソグラフィ工程において、ソフトベークおよびハードベークは単にフォトレジストの乾燥を意味するものではない。これらはライン幅制御、サイドウォールプロファイル、ウェーハがライン全体をスムーズに流れるかどうかを決定する熱予算を設定する工程である。IRランプの性能が不安定であれば—ある箇所でのホットスポッ...