MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

IR 웨이퍼의 건조 과정에서 발생할 수 있는 위험을 막는 방법 솔직히 말해서, 화학적 세척 후에 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 매우 위험한 작업입니다. 가열 요소가 가연성이 있고 폭발성인 용매 증기 속에 위치해 있기 때문입니다. 일반적인 IR 램프로는 이러한...