Dapatkan haba yang lebih banyak di tempat yang sebenarnya diperlukan
Jika anda pernah berada di bilik bersih untuk pengeluaran semikonduktor, anda pasti tahu betapa sukar untuk mengawal suhu pada permukaan wafer tersebut. Anda memerlukan suhu yang tepat pada permukaan wafer, tetapi pada masa yang sama, peralatan lain tidak boleh menjadi sumber haba yang berlebihan.
Kebanyakan orang menggunakan reflektor aluminium biasa. Masalahnya ialah aluminium merupakan bahan yang sangat baik untuk menyerap tenaga haba. Ia menyerap terlalu banyak sinar inframerah, sehingga tenaga yang digunakan hanyalah untuk memanaskan badan pemanas itu sendiri.
Inilah kelebihan penggunaan emas.
Walaupun kedengaran mewah, sebenarnya ia berkaitan dengan prinsip fizik. Emas sangat efektif dalam memantulkan cahaya inframerah. Dengan menggantikan aluminium dengan lapisan emas, haba dapat disalurkan tepat ke permukaan wafer. Ini membolehkan penggunaan tenaga yang lebih efisien.
Selain itu, penggunaan emas juga memudahkan kerja sistem HVAC. Dengan cara ini, sistem penyejukan tidak perlu bekerja keras untuk mengekalkan suhu bilik bersih daripada menjadi terlalu panas.
Namun, ada satu masalah: emas merupakan bahan yang lembut. Jika pasukan penyelenggaraan melakukan kesilapan semasa menukar reflektor tersebut, permukaannya akan tercalar. Kesan calar tersebut boleh merosakkan keberkesanan pemanas tersebut, malah boleh menyebabkan bahagian tertentu pada wafer menjadi terlalu panas. Oleh itu, perlu berhati-hati semasa mengendalikan emas tersebut.
Sekarang, mari bincangkan soal kos. Ya, emas memang mahal. Namun, jika anda menggunakan wafer berukuran 300mm, di mana keseragaman suhu sangat penting, kos tersebut akan berbaloi. Anda boleh menggunakan kuasa yang lebih rendah untuk memanaskan wafer tersebut, dan ini akan membantu mengurangkan beban pada sumber tenaga.
Satu lagi tips: gunakan kawalan PID untuk mengawal sistem pemanasan ini. Itulah cara yang terbaik.
Dan apa pun yang anda lakukan, jangan cuba “memperbaiki” reflektor yang sudah usang dengan meningkatkan kuasa lampu. Ini hanya akan mempercepatkan kerosakan pada filamen lampu tersebut. Patuhi sahaja tetapan yang disyorkan, dan biarkan emas yang melakukan tugas tersebut.