Pada garis 300 mm, perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pembakaran perlahan atau semasa peralihan ke proses pembakaran yang lebih intensif sudah cukup untuk mengganggu kualiti CD tersebut. Oleh itu, kami mencipta lampu berlapis emas ini untuk mengurangkan ketidakpastian termal yang timbul semasa setiap proses pembakaran.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Lampu berlapis emas ini menghasilkan sinar inframerah jarak dekat yang dapat menembusi lapisan fotoresist dan filem yang digunakan. Lapisan emas tersebut memantulkan sinar inframerah kembali ke permukaan yang ingin diproses, sehingga meningkatkan kecekapan proses dan mengurangkan suhu maksimum lampu. Ini seterusnya mengurangkan risiko kemunculan zarah-zarah yang merosakkan kualiti produk.
Di seluruh permukaan wafer, suhu dapat dikawal pada tahap ±0.1°C. Suhu ini akan stabil walaupun pintu oven dibuka dan ditutup. Keluaran cahaya lampu tetap stabil selama lebih dari 5,000 jam, dengan perubahan intensiti cahaya kurang dari 5%. Dengan cara ini, proses pembakaran dapat diulang tanpa perlu penyesuaian berterusan.
Lampu ini boleh dipasang dalam sistem pemanasan standard, dan ia sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Dalam keadaan aliran udara yang normal, lampu ini tidak akan menghasilkan zarah-zarah yang merosakkan kualiti produk.
Mengapa ia berkesan
Dalam proses pengeringan wafer, lampu ini dapat menghilangkan kelembapan pada permukaan wafer tanpa merosakkan lapisan filemnya. Dalam proses litografi pula, lampu ini memungkinkan proses pembakaran yang lebih tepat, sehingga mengurangkan risiko masalah berkaitan gelombang termal. Akibatnya, masa yang diperlukan untuk proses pembakaran menjadi lebih singkat, penggunaan tenaga berkurangan, dan jumlah bahan buangan juga berkurangan. Penyesuaian resepsi proses juga menjadi jarang dilakukan, dan kualitas hasil produksi tetap terjaga, kerana lampu ini memberikan pola suhu yang konsisten setiap kali digunakan.
Apa yang perlu diperhatikan
Pastikan lampu ini disesuaikan dengan geometri reflektor serta aliran udara di dalam oven. Jika reflektor tidak sesuai, akan timbul kawasan panas pada permukaan wafer. Jika aliran udara tidak mencukupi, suhu lampu akan meningkat, sehingga memperpendek jangka hayat lampu tersebut.
Lapisan emas pada lampu ini memang tahan lama, tetapi ia tidak tahan terhadap pelarut atau bahan pembersih yang agresif. Gunakan kaedah pembersihan yang disyorkan, dan jangan sentuh permukaan yang dilapisi emas tersebut. Jika dipasang dengan betul, lampu berlapis emas ini dapat beroperasi 24/7 dengan penyelenggaraan yang mudah, dan parameter proses akan tetap stabil seperti yang diinginkan.