Mengapa Kita Gunakan Emas untuk Mengeringkan Wafer Semikonduktor
Ketika kita menggunakan stesen pencucian wafer, kita perlu mencari keseimbangan yang tepat. Kita perlu mengeringkan permukaan wafer dengan cepat, tetapi jika kita terlalu agresif, wafer tersebut akan rosak akibat tekanan haba.
Inilah sebabnya kami menggunakan lampu inframerah yang tahan air, digabungkan dengan reflektor yang dilapisi emas. Mengapa emas? Kerana emas dapat menghalang haba daripada tersebar ke komponen mesin lain, dan memastikan haba tersebut sampai tepat ke permukaan wafer.
Rahsianya terletak pada proses pantulan cahaya.
Kebanyakan orang menggunakan reflektor berbahan aluminium, tetapi masalahnya ialah aluminium menyerap banyak tenaga inframerah. Emas pula sangat efektif dalam memantulkan cahaya inframerah. Dengan menambah lapisan emas yang tipis, kita dapat memantulkan semula sinar inframerah ke arah wafer. Ini bermakna kita dapat mendapatkan intensiti haba yang lebih tinggi tanpa perlu meningkatkan voltan lampu. Ini merupakan prinsip fizik yang sangat bijak.
Menghadapi Masalah “Zon Basah”
Oleh kerana lampu-lampu ini berada dalam persekitaran yang lembap, ia mudah rosak jika terkena titisan air. Jika setitik air pun mengenai elektrod lampu, lampu tersebut akan rosak serta-merta.
Kami meluangkan masa yang banyak untuk memastikan penyegelan lampu tersebut betul-betul ketat. Kami juga memastikan bentuk reflektor tersebut sesuai, agar pancaran haba menjadi lebih terfokus. Ini membantu menjaga suhu komponen mekanikal di sekelilingnya, serta memastikan tenaga haba tertumpu pada wafer.
Kompromi yang perlu diterima
Mentransferkan begitu banyak tenaga memang merupakan perkara yang rumit. Kerana emas membuatkan haba menjadi sangat kuat, kita perlu berhati-hati. Jika konveyor bergerak terlalu perlahan atau lampu dipasang terlalu rapat, hujung wafer mungkin akan rosak. Anda juga perlu memastikan kipas penyejuk berfungsi dengan baik, kerana suhu di belakang reflektor boleh menjadi sangat tinggi.
Yang terbaiknya? Peranti ini direka untuk diganti secara mudah. Anda hanya perlu menggantikan peranti IR lama dengan yang baru, sambungkan wayarnya, dan selesai. Anda akan melihat air menguap lebih cepat, dan panel elektrik juga tidak perlu bekerja keras.