Mengapa kita menggunakan kaedah pemanasan inframerah untuk pemprosesan wafer
Dalam kilang semikonduktor, “kebersihan” bukan sekadar matlamat semata-mata – ia merupakan prasyarat utama. Jika ada sedikit pun sisa bahan yang tertinggal semasa proses pengeringan atau pembebasan bahan kimia, ia akan menimbulkan masalah. Itulah sebabnya kita menggunakan sensor dan penjana inframerah yang tepat. Dengan cara ini, kita dapat mengelakkan penggunaan pelarut kimia serta pemanas konvensional.
Lupakan sahaja tentang pemanasan udara.
Kebanyakan orang berfikir tentang penggunaan ketuhar, di mana udara dipanaskan agar haba tersebut dapat disalurkan ke wafer. Namun cara ini lambat dan tidak efisien. Inframerah pula berbeza. Ia menggunakan radiasi elektromagnet untuk memanaskan molekul-molekul di dalam substrat itu sendiri. Proses ini berlaku dengan cepat. Selain itu, tiada lagi unsur pemanas yang boleh menyebabkan kotoran terbakar dan mencemarkan udara di bilik bersih. Jika anda ingin mematuhi standard alam sekitar atau mengelakkan kontaminasi logam di dalam bilik tersebut, inilah satu-satunya cara yang efektif.
Fokus pada bahagian yang perlu dipanaskan, bukan keseluruhan wafer.
Yang menariknya, kita boleh menyesuaikan panjang gelombang cahaya inframerah. Daripada memanaskan seluruh wafer, kita hanya memanaskan bahagian yang memerlukan pembebasan bahan kimia. Ini menjimatkan banyak tenaga. Anda tidak perlu membazir tenaga untuk memanaskan struktur logam yang besar hanya untuk memproses satu wafer berukuran 300 mm. Selain itu, kerana modul inframerah ini sangat kompak, anda boleh menggantikan ketuhar konvensional dengan modul ini, lalu menjimatkan ruang. Sistem HVAC anda juga akan bersyukur.
Kelemahan kaedah ini…
Kuasa inframerah yang tinggi memang efektif untuk mempercepat proses pemprosesan wafer. Namun, ia juga menyukarkan pengawalan suhu. Jika sensor tidak berfungsi dengan sempurna, ia akan menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas. Ini boleh merosakkan wafer. Untuk mengelakkan perkara ini, kita perlu menggunakan pengawal PID berkelajuan tinggi untuk memastikan suhu tetap terkawal.
Satu lagi nasihat: Jangan gunakan kabel yang murah. Gunakan kabel yang dilindungi. Jika tidak, gangguan EMI akan masuk ke dalam sensor dan merosakkan bacaan yang diperoleh. Ia mungkin kelihatan remeh, tetapi ia merupakan faktor penting yang membezakan hasil yang berkualiti tinggi daripada hasil yang tidak berkualiti.