Op de lithografieafdeling is het verhitten van de fotorezerve geen voorbereidende stap. Het is juist een essentieel onderdeel voor het beheersen van de dikte van de lijnen op de chip. Als de hete plaat zich verschuift, zal ook de uniformiteit van de chip veranderen. Hierdoor neemt de hoeveelheid afval snel toe.
Wat echt belangrijk is
We hebben deze verwarmingsplaat ontworpen met één doel voor ogen: herhaalbare temperatuurcontrole. Over de hele chip blijft de temperatuur binnen ±0,1°C, zodat de profielen van het zachte en harde verhitten steeds hetzelfde blijven, elke keer dat het proces wordt uitgevoerd. De verwarmingsunit maakt gebruik van kortegolflengte-infraroodlicht en kwartscomponenten, waardoor er snel een temperatuurstijging wordt bereikt en er geen warmtepunten ontstaan.
Deze unit is bedoeld voor gebruik in een schone omgeving, waarbij er nauwelijks gasontlasting optreedt en er geen deeltjes worden geproduceerd. Door het hergebruik van lucht en een efficiënte aandrijving wordt de energieverbruik geminimaliseerd, zonder dat dit leidt tot meer thermische inertie die het proces vertraagt.
Waarom deze unit geschikt is voor productie
In fabrieken waar veel verschillende producten worden geproduceerd, is stabiliteit tussen batches cruciaal. Deze unit zorgt ervoor dat de temperatuur op elke chip constant blijft, waardoor de consistentie van de fotorezerve verbetert en er minder herwerk nodig is. Snellere opwarm- en afkoelperiodes zorgen voor kortere cyclustijden, waardoor er meer producten per uur kunnen worden geproduceerd.
De energiebesparingen zijn groot, vooral bij 24/7 gebruik: minder kWh per chip, minder koelvermogen nodig en lagere kosten. De betrouwbaarheid van deze unit is bewezen in langdurige toepassingen, zonder onverwachte stilstanden.
Praktische details
Voor installatie is een aparte stroomtoevoer nodig, evenals een goede thermische verbinding met de rest van het apparaat. Onjuiste verbindingen of ongecontroleerde omgevingsfactoren kunnen de uniformiteit van de chip negatief beïnvloeden. De unit past meestal in de meeste frames, maar er moet nog een korte testperiode worden uitgevoerd om de instellingen te optimaliseren.
Er is ongeveer twee weken nodig om de unit in te stellen, zodat deze kan worden geïntegreerd in uw huidige lithografieapparatuur en aan de vereisten qua temperatuur en deeltjesvorming kan voldoen.