Em uma linha de 300 mm, um desvio de meio grau durante o processo de secagem suave ou durante a transição para o processo de secagem intensiva já é suficiente para mover os CDs, causando problemas e reduzindo a qualidade dos produtos finais. Por isso, desenvolvemos lâmpadas com dois tubos e revestimento em ouro, a fim de eliminar essas incertezas térmicas nos processos realizados a cada turno.
O que é importante, tecnicamente
As lâmpadas com dois tubos e revestimento em ouro emitem radiação infravermelha de onda curta, que atinge diretamente o fotorevestimento e as películas utilizadas nos processos de fabricação. O revestimento em ouro reflete a radiação infravermelha de volta ao alvo, o que aumenta a eficiência do processo e reduz a temperatura máxima da lâmpada – o que, por sua vez, diminui o risco de formação de partículas indesejadas.
Em todo o wafer, a uniformidade térmica fica entre ±0,1°C, e esse valor se mantém estável mesmo após a abertura e fechamento da porta do forno. A potência de saída permanece constante por mais de 5.000 horas, com uma variação de intensidade inferior a 5%. Assim, o processo pode ser repetido sem a necessidade de ajustes constantes.
Essas lâmpadas podem ser instaladas em fornos e módulos de secagem padrão. Elas são compatíveis com salas limpas de classe 1–100, e, sob condições normais de fluxo de ar, não geram partículas indesejadas.
Por que funciona na prática
No processo de secagem dos wafers, a lâmpada remove a umidade da superfície sem danificar o fotorevestimento, evitando assim defeitos que comprometam o resultado final. Na litografia, ela permite a execução dos processos de secagem suave e intensiva com maior precisão térmica, o que reduz as ondas estacionárias e melhora o controle do perfil térmico.
Isso resulta em ciclos de secagem mais curtos, consumo de energia menor e menor quantidade de produtos defeituosos. As alterações nas configurações do processo entre diferentes lotes são menores, e o controle preciso do perfil térmico é mantido, pois a lâmpada repete sempre o mesmo padrão térmico a cada turno.
O que observar
É necessário garantir que a lâmpada esteja alinhada com a geometria do refletor e com o fluxo de ar no forno. Se o refletor estiver desalinhado, haverá pontos quentes. Se o fluxo de ar for insuficiente, a temperatura da lâmpada aumentará, encurtando seu tempo de vida útil.
O revestimento em ouro é resistente, mas não tolera solventes ou métodos de limpeza agressivos. É preciso usar apenas métodos de limpeza aprovados e evitar tocar na superfície revestida. Quando instalada corretamente, a lâmpada com dois tubos e revestimento em ouro pode funcionar 24/7, com manutenção previsível, mantendo o perfil térmico dentro das especificações desejadas.