Por que usamos cura por IR no processamento de wafers
Nas fábricas de semicondutores, “limpeza” não é apenas um objetivo – é fundamental. Se restar mesmo uma pequena quantidade de resíduos durante o processo de secagem ou cura, você terá problemas. É por isso que recorremos a sensores e emissores de IR de alta precisão. Isso nos permite eliminar completamente a necessidade de solventes químicos e aquecedores convencionais.
Esqueça o aquecimento do ar.
A maioria das pessoas pensa em fornos, onde o ar é aquecido na esperança de que esse calor seja transferido para o wafer. Esse método é lento e complexo.
O IR é diferente: ele utiliza radiação eletromagnética para agitar as moléculas dentro do próprio substrato. É instantâneo. Além disso, não há elementos de aquecimento que possam causar contaminação no ar da sala limpa. Se você quer cumprir as normas ambientais ou evitar a contaminação metálica na sala, essa é praticamente a única solução.
Alvo preciso, não toda a sala.
O melhor é que podemos ajustar o comprimento de onda utilizado. Em vez de aquecer todo o suporte do wafer, focamos nas faixas de absorção específicas do adesivo ou do fotorevestimento. Assim, só o que precisa ser aquecido é aquecido.
Isso economiza muita energia. Você não desperdiça energia aquecendo um grande chassi metálico só para curar um wafer de 300 mm. Além disso, como os módulos são muito compactos, você pode substituir os fornos convencionais por eles, liberando espaço no chão. Seu sistema HVAC também agradecerá.
O problema (pois sempre existe um problema).
A radiação IR de alta intensidade é eficaz para acelerar o processo de cura dos wafers. Mas isso torna o controle térmico um desafio. Se os sensores estiverem desalinhados, haverá pontos quentes locais. E pontos quentes causam deformações nos wafers. Para evitar isso, é necessário usar controladores PID de alta velocidade para manter a temperatura estável.
Uma última dica: não economize nos cabos. Use cabos blindados. Caso contrário, ruídos eletromagnéticos podem afetar os sensores e distorcer as leituras. É um detalhe pequeno, mas faz toda a diferença entre um lote perfeito e um lote cheio de produtos defeituosos.