ในกระบวนการถ่ายภาพด้วยเทคโนโลยีลิโทกราฟีนั้น การอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ไม่ใช่ขั้นตอนก่อนการผลิตเท่านั้น แต่ยังเป็นสิ่งสำคัญในการควบคุมความหนาของเส้นที่ถูกสร้างขึ้นอีกด้วย หากแผ่นอุ่นมีความคลาดเคลื่อน ความสม่ำเสมอของวัสดุโฟโตรีซิสต์ก็จะเปลี่ยนไปด้วย และจำนวนวัสดุที่ต้องทิ้งก็จะเพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็ว
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
เราออกแบบแพลตฟอร์มการอุ่นนี้ขึ้นมาเพื่อให้มีความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ โดยอุณหภูมิจะอยู่ในช่วง ±0.1°C ทั่วทั้งแผ่นวัสดุ ดังนั้นกระบวนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์จึงมีความสม่ำเสมอในทุกครั้งที่ทำการผลิต หัวเผาใช้รังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นร่วมกับองค์ประกอบควอตซ์ ซึ่งช่วยให้อุณหภูมิเพิ่มขึ้นได้อย่างรวดเร็ว และไม่มีจุดร้อนเกิดขึ้น
แพลตฟอร์มนี้ถูกออกแบบมาสำหรับใช้ในห้องสะอาด โดยสามารถทำงานได้ในสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 โดยมีการปล่อยก๊าซออกมาน้อยมาก และไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ ขึ้นมาในระหว่างกระบวนการผลิต การใช้พลังงานก็ลดลงด้วยการใช้กระแสอากาศที่หมุนเวียนอยู่ตลอดเวลา และมีระบบขับเคลื่อนที่มีประสิทธิภาพสูง ซึ่งช่วยลดการใช้พลังงานโดยไม่ส่งผลต่อความช้าในการเปลี่ยนผลิตภัณฑ์
เหตุใดแพลตฟอร์มนี้จึงมีประสิทธิภาพในการผลิตจริง
ในโรงงานที่มีการผลิตหลายชนิดพร้อมกัน ความสม่ำเสมอของผลิตภัณฑ์ในแต่ละชุดถือเป็นปัญหาสำคัญ แพลตฟอร์มนี้ช่วยควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้ความสม่ำเสมอของวัสดุโฟโตรีซิสต์ดีขึ้น และลดการต้องทำการผลิตใหม่ นอกจากนี้ การอุ่นวัสดุให้ถึงอุณหภูมิที่กำหนดได้อย่างรวดเร็ว และการทำให้อุณหภูมิลดลงอย่างรวดเร็ว ก็ช่วยลดเวลาในการผลิตลง ทำให้สามารถผลิตได้มากขึ้นต่อชั่วโมง
การประหยัดพลังงานนั้นสามารถเห็นได้ตลอด 24/7 โดยมีการใช้พลังงานต่อแผ่นวัสดุน้อยลง และมีค่าใช้จ่ายในการระบายความร้อนน้อยลง นอกจากนี้ ยังมีความน่าเชื่อถือสูง โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิดเกิดขึ้นเลยตลอดช่วงเวลาหลายเดือนที่ใช้งาน
รายละเอียดการติดตั้ง
การติดตั้งแพลตฟอร์มนี้จำเป็นต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่สะอาด และมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเหมาะสม หากมีความไม่สม่ำเสมอในการเชื่อมต่อสายไฟ หรือมีความผันผวนของอุณหภูมิภายนอก ก็จะส่งผลต่อความสม่ำเสมอของวัสดุโฟโตรีซิสต์ แพลตฟอร์มนี้สามารถติดตั้งได้กับพื้นที่ต่างๆ แต่ก็ยังจำเป็นต้องมีการทดสอบเพื่อให้แน่ใจว่าสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ
คาดว่าจะใช้เวลาประมาณสองสัปดาห์ในการตั้งค่าแพลตฟอร์มนี้ให้เหมาะสมกับระบบลิโทกราฟีที่มีอยู่ และให้ได้ค่าอุณหภูมิและอนุภาคที่ต้องการในครั้งแรกที่ทำการผลิต