ในพื้นโรงงาน การอบอ่อนที่ 90°C จะไม่อยู่ในสเปคเมื่อมันไหลไปครึ่งองศา มันจะแสดงออกมาในรูปแบบของการไหลของเส้นผ่านศูนย์กลาง, ปัญหาความสม่ำเสมอของ CD, และของเสีย คุณต้องการความเสถียรทางความร้อนที่มีประสิทธิภาพ—ทำงานต่อเนื่องไปทีละรัน ทีละเวเฟอร์
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราสร้างองค์ประกอบการทำความร้อนและการประกอบโดยอิงจากความสม่ำเสมอและความสามารถในการทำซ้ำในระดับเวเฟอร์ เป้าหมายคือ ±0.1°C ทั่วทั้งเขตที่ใช้งาน ดังนั้นฟิล์มฟอโต้เรซิสต์จะได้รับงบประมาณความร้อนเท่ากันในทุก ๆ รอบ
การออกแบบควอตซ์และอินฟราเรดคลื่นสั้นให้การเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วและสะอาดสำหรับการอบอ่อนและการอบแข็ง—โดยไม่มีจุดร้อน องค์ประกอบเหล่านี้ได้รับการจัดอันดับสำหรับคลาสห้องสะอาด 1–100 และไม่สร้างอนุภาคใด ๆ ดังนั้นคุณจึงไม่เพิ่มความเสี่ยงในการผลิต ความน่าเชื่อถือได้รับการออกแบบให้ทำงานได้ 24/7 โดยมีเอกสารระบุอายุการใช้งานและผลลัพธ์ที่เสถียรหลังจากใช้งานไปหลายพันชั่วโมง
ทำไมสิ่งนี้จึงทำงานในลิโธกราฟี
ขั้นตอนการอบจะตั้งรากฐานสำหรับการเปิดรับและการพัฒนา การควบคุมอุณหภูมิที่แน่นหนาช่วยปรับปรุงการควบคุมขนาดที่สำคัญและลดการทำงานซ้ำ
การเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วช่วยลดเวลารอบโดยไม่ผลักดันอุณหภูมิสูงสุด ซึ่งช่วยปกป้องฟิล์มบางและลดการใช้พลังงาน และการมีชิ้นส่วนสำรองที่ผ่านการรับรองสามารถสั่งซื้อออนไลน์ช่วยลดเวลาการส่งมอบ—ดังนั้นคุณจึงสามารถทำให้สายการผลิตดำเนินการต่อไปและหลีกเลี่ยงการหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด หน้าต่างกระบวนการที่คาดเดาได้ การเบี่ยงเบนที่น้อยลง
สิ่งที่ต้องคำนึงถึง
ความเข้ากันได้ขึ้นอยู่กับการกำหนดค่าของเครื่องมือที่แน่นอน รูปทรงของห้องและส่วนติดต่อควบคุม ตรวจสอบแรงดันไฟฟ้า ประเภทของการเชื่อมต่อ และพื้นที่ติดตั้งก่อนที่คุณจะสั่งซื้อ
การปรับปรุงบางอย่างต้องการการปรับเครื่องมือเล็กน้อยเพื่อรักษาการเชื่อมโยงทางความร้อนและรักษาอุปกรณ์ความปลอดภัยให้สมบูรณ์ เรามีภาพวาดขนาดและหมายเหตุการเชื่อมต่อเพื่อให้การรวมระบบเป็นไปอย่างง่ายดาย