На заводі з виробництва чипів процеси „м’якого“ та „жорсткого“ нагрівання є не просто термічними етапами. Це фактори, які впливають на якість продукції. Зміна температури на рівні 1°C під час літографічного нагрівання може змінити критичні розміри чипа, а утворення частинок під час нагрівання може зруйнувати чип ще до того, як буде можливість його розрізати. Тож потрібен нагрівач, який дотримуватиметься правил терморегулювання та вимог чистих приміщень.
Ми створили нагрівач для нашого заводу, використовуючи кварцеві випромінювачі короткохвильового інфрачервоного світла та систему примусової циркуляції повітря. Це дозволяє підтримувати однорідність температури на всій площі поверхні чипа в межах ±0,1°C. Повторюваність температури становить ±0,5°C, тож однаковий термальний профіль зберігається при виробництві кожної партії продукції.
Матеріали, з яких виготовлена камера, мають низький рівень випаровування, а система опалення сумісна з системою HEPA. Це дозволяє підтримувати рівень частинок у межах класу 1–100. Відсутність утворення частинок – це не просто слоган; це досягається за рахунок внутрішньої фільтрації та поверхонь, які не дозволяють частинкам залишатися в щілинах. Споживання енергії налаштовується відповідно до вимог процесу, тож не відбувається зайве нагрівання, а витрати на електроенергію залишаються прогнозованими.
Процес складання чипів вимагає точного контролю температури та часу під час нагрівання, а також частої зміни продукту. Наш нагрівач забезпечує точне дотримання параметрів нагрівання, що дозволяє зменшити відхилення розмірів чипа та підвищити кількість готової продукції. Сумісність з чистими приміщеннями допомагає зменшити кількість частинок, що є важливим для виробництва чипів на передових технологічних рівнях. Нагрівач розроблений для цілодобової роботи, з компонентами, призначеними для постійної роботи, та періодами обслуговування, запланованими з урахуванням профілактичного технічного обслуговування, а не раптових перерв у роботі.
Нагрівач потребує стабільного джерела живлення та системи відведення повітря, яка відповідає вимогам чистих приміщень. Модифікації залежать від конфігурації лінії та можуть вимагати коротких перерв у роботі. Інтерфейс та панель керування нагрівачем мають бути сумісні з наявним обладнанням.
Ми надаємо креслення та перелік етапів налаштування, щоб процес інтеграції був простішим. Однак необхідно заздалегідь планувати підключення необхідних комунікацій – інакше це може затримати виробництво.