На лінії довжиною 300 мм достатньо лише напівградусного зсуву температури під час процедури м’якого випалювання чи поступового переходу до процедури жорсткого випалювання, щоб це призвело до зміщення положення CD-дисків, що, у свою чергу, може спричинити проблеми з якістю продукції. Ми створили лампу з двома трубками та золотим покриттям, яка допомагає усунути ці теплові нестабільності під час кожної процедури обробки.
Що має значення з технічної точки зору
Лампа з двома трубками та золотим покриттям випромінює короткохвильове інфрачервоне світло, яке безпосередньо впливає на фоторезист та інші матеріали. Золоте покриття відбиває інфрачервоне світло назад на об’єкт обробки, завдяки чому підвищується ефективність роботи лампи, а температура її трубок знижується – це зменшує ризик утворення домішок.
На всій поверхні пластини температура залишається стабільною на рівні ±0,1°C. Після відкриття та закриття дверей температура швидко повертається до норми. Рівень потужності лампи залишається стабільним протягом понад 5 000 годин; зсув інтенсивності світла становить менше 5%. Таким чином процес може повторюватися без постійної налаштування параметрів.
Цю лампу можна встановлювати в стандартні пристрої для обробки в печах типу „track oven“ та модулях сушіння. Вона сумісна з умовами чистих приміщень класу 1–100; при нормальному потоці повітря вона не створює домішок.
Чому це ефективно на практиці
Під час сушіння пластин лампа усуває поверхневу вологу, не пошкоджуючи при цьому фоторезист. Це дозволяє уникнути дефектів, які можуть знизити якість продукції. У процесі літографії лампа забезпечує більш точне контролювання температури під час процедур м’якого та жорсткого випалювання. Це дає можливість скоротити час обробки, зменшити споживану енергію та кількість бракованої продукції. Налаштування параметрів процесу потрібні рідко, а якість продукції залишається стабільною, оскільки лампа постійно повторює однаковий тепловий профіль під час кожної процедури обробки.
На що потрібно звертати увагу
Необхідно підбирати лампу відповідно до геометрії відбивача та потоку повітря в печі. Якщо відбивач не налаштований правильно, можуть виникнути „гарячі точки“. Якщо потік повітря слабкий, температура трубок лампи підвищується, що скорочує її термін служби.
Золоте покриття лампи є стійким, але воно не любить розчинники та агресивні засоби очищення. Його необхідно обробляти лише за допомогою схвалених методів, а саму поверхню покриття не можна торкатися. При правильній установці лампа може працювати 24/7 із прогнозованою періодичністю технічного обслуговування, а параметри процесу залишаються стабільними.