لیتھوگرافی کے عمل میں، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنا کوئی پیشگی مرحلہ نہیں ہے؛ بلکہ یہ لائن ویڈتھ کو کنٹرول کرنے کے لئے ایک اہم عمل ہے۔ اگر ہاٹ پلیٹ میں تغیر پیدا ہو جائے، تو سی ڈی کی یکسانیت بھی ختم ہو جاتی ہے، اور فضلے کی مقدار بھی تیزی سے بڑھ جاتی ہے۔
جو چیز واقعی اہم ہے:
ہم نے اس ہیٹنگ پلیٹفارم کو ایک ہی مقصد کے لئے تیار کیا ہے: درجہ حرارت کو مستقل رکھنا۔ یہ پلیٹفارم، ویفر پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر ہی رکھتا ہے؛ اس طرح سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے عمل میں کوئی تغیر نہیں آتا۔ اس ہیٹر میں کوارٹز کمپوننٹس استعمال کئے گئے ہیں، جس سے درجہ حرارت تیزی سے بڑھتا ہے، اور کوئی گرم نقطہ پیدا نہیں ہوتا۔
یہ پلیٹفارم کلین روم کے ماحول کے لئے بنایا گیا ہے؛ یہ کلاس 1-100 کے ماحول میں کام کرنے کے لئے موزوں ہے، اور پروسیسنگ کے دوران کوئی گیس باہر نہیں نکلتی، اور کوئی ذرہ بھی پیدا نہیں ہوتا۔ توانائی کی کھپت کو کم کرنے کے لئے، یہاں ریسرکولیٹنگ ایئر فلو اور اعلیٰ کارکردگی والے ڈرائیو سسٹم استعمال کئے گئے ہیں؛ اس طرح توانائی کی کھپت کم ہو جاتی ہے، اور کوئی حرارتی تأخیر بھی نہیں ہوتی۔
پیداواری عمل میں اس کی اہمیت:
ہائی-مکس فیکٹریوں میں، ہر بیچ کے درمیان استحکام بہت اہم ہے۔ یہ پلیٹفارم ہر ویفر پر درجہ حرارت کو مستقل رکھتا ہے، جس سے فوٹوریزسٹ کی خصوصیات میں کوئی تغیر نہیں آتا، اور دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت بھی نہیں پڑتی۔ تیز رفتاری سے درجہ حرارت بڑھنے اور ٹھنڈا ہونے کی وجہ سے، پروسیسنگ کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور ایک بیچ میں زیادہ پروڈکشن حاصل کی جا سکتی ہے۔
توانائی کی بچت:
24/7 کام کرنے کے دوران، توانائی کی بچت بہت زیادہ ہوتی ہے؛ ہر ویفر کے لئے کم کیلوواٹ گھنٹے درکار ہوتے ہیں، کولنگ کا بوجھ کم ہوتا ہے، اور بلوں کی رقم بھی کم ہوتی ہے۔ مہینوں تک استعمال کرنے کے بعد بھی، اس پلیٹفارم کی قابل اعتمادی برقرار رہتی ہے، اور کوئی غیرمتوقع بندش نہیں ہوتی۔
عملی تفصیلات:
اس پلیٹفارم کی تنصیب کے لئے الگ سے کلین پاور فیڈ اور مناسب تھرمل سسٹم کی ضرورت ہے۔ غلط بس بارز یا غیرمنظم ماحولیاتی حالات سے یکسانیت متاثر ہو سکتی ہے۔ یہ پلیٹفارم زیادہ تر ٹریک فوٹپرنٹس میں فٹ بیٹھتا ہے، لیکن انٹیگریشن کے لئے کچھ وقت درکار ہے، تاکہ تمام ترتیبات درست ہو سکیں۔
آپ کو تقریباً دو ہفتوں کا وقت درکار ہوگا، تاکہ آپ اپنے موجودہ لیتھوگرافی سسٹم کے ساتھ اس پلیٹفارم کو ہم آہنگ کر سکیں، اور پہلی بار ہی مطلوبہ معیارات حاصل کر سکیں۔