
آئی آر حرارت کی مدد سے ویکیوم چیمبروں کو تیز رفتار بنانا
اگر آپ ایک جدید فیبریکیشن سسٹم تیار کرنے کا منصوبہ بنا رہے ہیں، تو آپ کو یقیناً احساس ہوگا کہ حرارت کو کنٹرول کرنا ایک الگ ہی چیلنج ہے۔ جب آپ ویکیوم چیمبر میں کام کرتے ہیں، تو آپ ہوا کے ذریعے حرارت کو منتقل کرنے پر انحصار نہیں کر سکتے؛ کیوں کہ یہاں کنویکشن کا عمل ہی نہیں ہوتا۔ اس صورت میں آپ کے پاس صرف تابکاری ہی رہ جاتی ہے۔ اسی لیے آئی آر حرارت ہی بہترین حل ہے؛ کیوں کہ یہ بغیر کسی واسطے کے ہی سبسٹریٹ کو گرم کرنے میں مدد کرتی ہے۔
حرارت کو “ذہین” بنانا
“جدید فیبریکیشن سسٹم” دراصل اس بات کا ہی دوسرا نام ہے کہ آپ بہتر ڈیٹا چاہتے ہیں۔ پرانے ہیٹنگ عناصر کا مسئلہ یہ ہے کہ وہ بہت سست ہیں؛ انہیں ردِعمل دینے میں بہت وقت لگتا ہے۔
ہم شارٹ-ویو آئی آر لیمپ استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ یہ بہت تیز ردِعمل دیتے ہیں۔ جب آپ وولٹیج تبدیل کرتے ہیں، تو یہ فوراً ہی ردِعمل دیتے ہیں۔ جب انہیں کلوزڈ-لوپ PID کنٹرولر سے جوڑا جاتا ہے، تو آپ کو بہتر کنٹرول حاصل ہوتا ہے۔ آپ حقیقی وقت میں تھرمل میپ دیکھ سکتے ہیں، اور درست درجہ حرارت حاصل کر سکتے ہیں۔ اگر آپ ویفر پر پڑنے والے دباؤ کے بارے میں فکرمند ہیں، تو یہی طریقہ اس مسئلے سے نمٹنے کا بہترین طریقہ ہے۔
مشکلات اور ان سے نمٹنے کا طریقہ
لیکن ایک مشکل یہ ہے کہ ہائی-ڈینسٹی آئی آر ایرے سبسٹریٹ میں بہت زیادہ توانائی خرچ کرتے ہیں۔ یہ طریقہ سائیکل ٹائم کو کم کرنے میں مددگار ثابت ہوتا ہے، لیکن یہ “مفت” توانائی نہیں ہے۔
اس زیادہ حرارت کی وجہ سے کولنگ سسٹم پر بہت دباؤ پڑتا ہے۔ اگر آپ زیادہ واٹج کا سسٹم استعمال کرتے ہیں، لیکن کولڈ واٹر کی فراہمی کو بہتر نہیں کرتے، تو چیمبر کی دیواروں میں حرارتی تغیرات پیدا ہو جاتے ہیں۔ یہ ایک کلاسیکی تضاد ہے: زیادہ پاور کا مطلب یہ ہے کہ آپ کو مشین کے باقی حصوں کو ٹھنڈا رکھنے کے لیے بہتر طریقے استعمال کرنے پڑتے ہیں۔
یہ طریقہ پروڈکشن کے لیے کیوں مفید ہے؟
ہم ان سسٹموں کو ماڈیولر ڈیزائن کرتے ہیں۔ کیوں؟ کیوں کہ لیمپ بالآخر خراب ہو جاتے ہیں۔ آپ یہ نہیں چاہیں گے کہ صرف ایک لیمپ خراب ہونے کی وجہ سے آپ کو پورا ہفتہ صرف اسے دوبارہ کیلیبریٹ کرنے میں صرف کرنا پڑے۔ آپ کو ایسا متبادل چاہیے جو فوراً ہی کام کر سکے۔
اس کے علاوہ، چونکہ یہ سب کچھ ڈیجیٹل ہے، لہذا آپ کا PLC لیمپوں کے استعمال کا ٹریک رکھ سکتا ہے۔ یہ آپ کو مشین کے خراب ہونے سے پہلے ہی اطلاع دے دے گا۔ اس طرح مرمت کا کام ایک پیچیدہ عمل سے بدل کر ایک منظم عمل بن جاتا ہے۔
یہ طریقہ تیز، کمپیکٹ ہے، اور ڈیجیٹل سسٹم کے ساتھ بھی بہتر طریقے سے کام کرتا ہے۔