Trên dây chuyền sản xuất, việc nướng photoresist không phải là tùy chọn - đó là ngân sách nhiệt của bạn. Chỉ cần điều chỉnh nhiệt độ nướng mềm hoặc nướng cứng thêm 2°C và theo dõi sự trôi lệnh kiểm soát kích thước quan trọng và hình dạng bề mặt. Độ đồng nhất ở mức wafer là ranh giới giữa một lô hàng và một lô bị loại bỏ.
Những gì quan trọng bên trong
Chúng tôi đã xây dựng bộ gia nhiệt hồng ngoại chính xác dựa trên phát xạ NIR và thiết kế quartz-halogen, do đó nó phản ứng nhanh và giữ ổn định. Con số quan trọng là độ đồng nhất nhiệt ở mức wafer là ±0.1°C trên toàn vùng nướng - được đo tại mặt phẳng wafer, không phải mặt bề mặt của bộ gia nhiệt. Nó tương thích với phòng sạch Class 1–100, nhờ vào vật liệu ít thoát khí và kiến trúc kín, không có hạt. Việc tạo ra hạt bằng không được xác minh bằng phép đo tại chỗ trong quá trình chạy thử nghiệm. Hệ thống hoạt động 24/7 mà không có thời gian ngừng hoạt động không dự kiến, và khả năng lặp lại được đảm bảo bởi hệ thống điều khiển vòng kín giúp giữ mỗi chu trình theo đúng thông số kỹ thuật.
Tại sao điều này hiệu quả trong lithography và đóng gói
Trong lithography, bạn cần một quá trình nướng mềm nhất quán để điều chỉnh độ nhớt và độ bám dính của photoresist trước khi chiếu sáng. Trong đóng gói, quá trình nướng cứng phải được hoàn thiện mà không có thoát khí hoặc tách lớp. Bộ gia nhiệt này giữ ổn định hồ sơ nhiệt độ, do đó sự biến động giữa các dây chuyền và giữa các lô hàng giảm thiểu. Lợi ích: ít phải làm lại hơn, phân phối kích thước chặt chẽ hơn và tỷ lệ thu hồi mà bạn có thể lập kế hoạch. Việc tiêu thụ năng lượng cũng giảm - nhanh chóng đạt điểm cài đặt, giữ mà không vượt quá, và kiểm soát tải nhiệt của buồng.
Những điều bạn cần lưu ý
Việc lắp đặt phụ thuộc vào việc phù hợp giao diện công cụ và xác nhận độ ổn định dòng điện; khả năng lặp lại phụ thuộc vào việc điện áp lưới duy trì trong khoảng ±2%. Bạn sẽ có hiệu suất tốt nhất khi bộ gia nhiệt được căn chỉnh với mặt phẳng wafer và các gương phản xạ sạch. Lên kế hoạch cho một buổi chạy thử ngắn để lập bản đồ hồ sơ nhiệt cho giá đỡ và quy trình cụ thể của bạn.