Trên sàn sản xuất, quá trình nướng mềm ở 90°C không giữ được “theo tiêu chuẩn” khi nó trôi dạt nửa độ. Điều này thể hiện qua việc trôi dạt chiều rộng đường, những vấn đề về đồng nhất kích thước (CD), và phế liệu. Bạn cần sự ổn định nhiệt mà hoạt động ổn định - từng lần chạy, từng tấm wafer.
Điều gì quan trọng, về mặt kỹ thuật
Chúng tôi xây dựng các phần tử gia nhiệt và lắp ráp dựa trên sự đồng nhất và khả năng lặp lại ở cấp độ wafer. Mục tiêu là ±0.1°C trong khu vực hoạt động, để photoresist nhận được ngân sách nhiệt giống nhau trong mỗi chu kỳ.
Thiết kế bằng thạch anh và hồng ngoại sóng ngắn mang đến cho bạn các độ tăng nhiệt nhanh và sạch cho quá trình nướng mềm và nướng cứng - không có điểm nóng. Các thành phần được xếp hạng cho phòng sạch Class 1-100 và tạo ra không có hạt bụi, vì vậy bạn không làm tăng rủi ro về năng suất. Độ tin cậy được thiết kế cho hoạt động 24/7, với tuổi thọ đã được tài liệu hóa và đầu ra ổn định sau hàng nghìn giờ.
Tại sao điều này hoạt động trong lithography
Bước nướng thiết lập nền tảng cho việc phơi sáng và phát triển. Kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ cải thiện kiểm soát kích thước quan trọng và giảm thiểu việc làm lại.
Tăng tốc độ gia nhiệt giúp rút ngắn thời gian chu kỳ mà không làm tăng nhiệt độ đỉnh, điều này bảo vệ các lớp mỏng và tiết kiệm năng lượng. Và việc có sẵn các linh kiện thay thế đã được chứng nhận thông qua đặt hàng trực tuyến rút ngắn thời gian giao hàng - vì vậy bạn duy trì được dây chuyền sản xuất và tránh được thời gian ngừng hoạt động không lường trước. Cửa sổ quy trình có thể dự đoán. Ít lần dao động hơn.
Những điều cần lưu ý
Tính tương thích phụ thuộc vào cấu hình công cụ chính xác, hình học buồng và giao diện điều khiển. Xác minh điện áp, loại kết nối và kích thước lắp đặt trước khi bạn đặt hàng.
Một số nâng cấp cần điều chỉnh công cụ nhỏ để duy trì sự liên kết nhiệt và giữ các khóa an toàn không bị ảnh hưởng. Chúng tôi cung cấp các bản vẽ kích thước và ghi chú giao diện để việc tích hợp trở nên đơn giản.