在化学清洁过程中，使用镀金红外灯可以确保设备的安全。说实话，在半导体工厂进行化学清洁是一项极其危险的工作。因为所使用的溶剂很容易发生燃烧或爆炸。如果将普通的红外灯放入这种环境下使用，那无疑是在自找麻烦。
因此，我们选择使用带有特殊密封结构的镀金石英灯。这样做是为了防止火花产生，同时避免化学物质侵蚀设备。
为什么选择黄金涂层？
我们在石英灯的外壳上涂上一层薄薄的黄金。当然，这并不是为了让机器看起来更漂亮。黄金的作用就像一面镜子，它能将红外线热量集中到晶圆上。如果没有黄金涂层，大量的热量会散失到灯壳的背面。通过这种方式，热量可以被精准地传递到需要的地方，从而避免设备被烤坏。这显然是一种更明智的做法。
在危险环境中确保安全
灯的端部通常是结构最脆弱的部位。在充满易挥发气体的环境中，哪怕是微小的电弧或泄漏，都可能引发火灾。为了解决这个问题，我们在电极与石英接触的地方采用严密的密封措施。这样一来，化学烟雾就无法进入，内部的气体也不会泄漏出去。此外，我们还使用加强型的连接器。因为连接不牢固会导致电弧产生，而在化学处理环境中，电弧无疑会带来灾难性的后果。
需要了解的权衡点
没有什么是完美的。虽然这些镀金灯在集中热量方面表现优异，但它们对清洁度要求很高。如果黄金涂层上积累了化学残留物，就很容易出现热点，进而导致石英破裂。为了防止灯泡过早损坏，必须定期对灯罩进行清洁。这里可没有捷径可走。
还有一点：一定要确保良好的通风条件。即便灯已经得到了妥善密封，它仍然会产生大量热量。如果空气流动不够快，周围的化学物质仍有可能蒸发。保持空气流通，就能避免问题。