如何防止红外灯在干燥过程中引发爆炸
说实话，对MEMS传感器晶圆进行化学清洗后的干燥过程其实相当危险。因为加热元件就位于易燃易爆的溶剂蒸汽之中。
普通的红外灯根本不适合用于这种环境。如果在这种环境中使用普通灯泡，那无疑是在自找麻烦。因此，我们设计的灯光采用了特殊的封装结构，这样的设计能够有效隔绝热量，同时避免危险因素的产生。
我们如何避免火花产生
化学清洗过程中，一旦有火花或高温表面接触到溶剂的爆炸极限，就会发生严重的后果。为了解决这个问题，我们将加热元件置于高纯度的石英外壳中。此外，我们还在电极连接处设置了双重密封装置，以防止有害化学物质进入电路系统。
我们还使用了不会释放气体的特殊玻璃-金属密封件和粘合剂。即便腔室内的VOC浓度很高，电弧也会被牢牢控制在适当的位置。
平衡热量与稳定性
在干燥晶圆时，需要大量的热量，而且需要迅速提供这些热量。我们设计的灯光可以快速升温，从而让晶圆表面快速干燥，同时避免损坏MEMS结构。
不过，这也带来了一个问题：如此高的功率会产生很大的应力，导致灯光不断膨胀和收缩。如果冷却系统无法有效控制温度，那么密封装置最终就会失效。
我的建议是：制定严格的维护计划，定期检查石英外壳是否有细微裂纹。这个小小的习惯就能避免更大的麻烦。
实际应用中的注意事项
在安装这些灯光时，要记住连接点往往是最薄弱的环节。我们会使用坚固的连接器来确保连接牢固。因为振动可能会使连接变得松动，而松动的连接则可能导致微电弧的产生。在易燃易爆的环境中，这无疑是一场灾难。
更换灯光的操作其实很简单，但请务必每次都仔细检查密封情况。哪怕只有几毫米的缝隙，也足以破坏整个干燥模块的安全性。检查只需一秒钟，但这是整个工作中最重要的一步。