别再浪费热量了：关于晶圆加热的真相
在半导体生产过程中，每一瓦特的能量损失都不仅仅是预算上的问题——它还可能带来污染风险。在给晶圆加热时，我们希望所有的红外能量都能准确地照射到晶圆上，不能有任何能量流失。
因此，我们使用镀金反射器。这样，能量就不会散失到机器的机壳里，而是被重新导向晶圆上。
为什么选择黄金？
普通的石英灯会将热量向各个方向散发，其中大约一半的能量是无效的。通过在反射器上添加高纯度的黄金层，我们可以让98%以上的红外能量被反射回来。这不仅有助于提高效率，还能更好地控制热量。黄金能够反射短波红外线，而不会吸收它，这样一来，热量就能持续集中在晶圆表面。
找到最佳距离
距离至关重要。如果灯安装得太近，就会导致局部过热，进而使晶圆变形。而如果灯安装得太远，热量又会散失到周围的空气中。我们通过调整反射器的形状来集中光线，这样就能保持适当的距离，从而减少意外接触或杂质进入晶圆表面的可能性，同时还能实现所需的快速升温效果。
权衡与应对方法
镀金反射器可以将大量热能集中在一个小范围内。因此，不能简单地将它们放入普通的外壳中，那样效果肯定不好。你的冷却系统必须足够强大，否则热量会在外壳内积聚，导致灯丝更快损坏。注意监测外壳的温度，这是确保设备长期正常运行的关键。