晶圆加工备件在线

在工厂车间，当90°C软烘烤偏离半度时，温度就无法保持在“规格范围内”。这会表现为线宽漂移、关键尺寸（CD）均匀性问题以及报废率上升。您需要热稳定性稳定可靠——每次运行，每片晶圆都一致。 技术重点 我们设计的加热元件和组件以晶圆级的均匀性和重复性为核心。目标是在活性区实现±0.1°C的温度控制，确...