晶圆处理设备的温度传感器

为何红外加热比强制空气加热更适用于晶圆处理 如果你们仍然依赖强制空气循环来为晶圆加热，那其实是在与物理规律作对。想想看：使用强制空气加热时，必须先让整个腔室内的所有空气分子都升温，之后晶圆才会开始感受到热量。这个过程很慢，效率也很低。而在制造行业中，每一秒都很珍贵，这样的延迟无疑会带来巨大损失。...