في هذه العملية، حتى أصغر تغيير في درجة الحرارة بمقدار 0.3 درجة مئوية يؤثر على خصائص المادة المستخدمة في عملية التصنيع. ويظهر ذلك فورًا في شكل أخطاء في عملية الطباعة، وزيادة كمية المواد المهدرة، بالإضافة إلى تأخير في المواعيد المحددة. أداء مصابيح التعريض ليس مجرد نظرية؛ بل هو نتيجة للتحكم المستمر في درجة الحرارة، ومنع تكوّن الجسيمات أثناء العملية.
ما هو مهم من الناحية التقنية لقد صممنا العاكسات حول مصابيح التعريض ذات الأشعة تحت الحمراء، بحيث يتم توجيه الشعاع بحيث تكون الرقاقة في مجال حراري موحد بدقة تصل إلى أقل من ملليمتر واحد. ويساعد ذلك في الحفاظ على درجة حرارة مستقرة، مما يساعد في تحسين جودة المادة المستخدمة في عملية التصنيع.
تم اختيار المواد وخصائص السطح بحيث توفر انعكاسًا عاليًا للأشعة تحت الحمراء، وتقليل إنتاج الجسيمات في الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى 100، وبالتالي يظل عدد الجسيمات ثابتًا. كما أن التصميم يضمن تكرار نفس النتائج في كل مرة، مما يساعد في الحفاظ على استقرار العملية.
لماذا يعمل هذا النظام في الإنتاج القدرة على التكرار هي الأهم؛ فنفس إخراج المصباح، ونفس درجة حرارة الرقاقة، في كل جلسة إنتاج. وهذا يعني تحكمًا أفضل في الأبعاد الحرجة، وتقليل كمية المواد المهدرة، بالإضافة إلى استقرار النتائج. كما أن استخدام الطاقة يقل لأن العاكسات تركز الطاقة في المكان المناسب، بدلاً من تبديد الحرارة الزائدة على الأجزاء المختلفة من الآلة.
الموثوقية مهمة أيضًا؛ فقد استخدمنا أجهزة تعمل لأكثر من 5,000 ساعة دون أن يقل إخراجها عن 5%. وبالتالي، يقل وقت التوقف غير المخطط له، وتظل عملية التعريض متوافقة مع متطلبات الإنتاج.
ما يجب أخذه في الاعتبار يجب أن تكون درجات الدقة في التركيب عالية جدًا؛ يجب أن يتم الحفاظ على توجيه المصباح وموقع العاكسات ضمن النطاقات المحددة، وإلا فإن الاتساق سينخفض. كما أن العاكسات مصممة لتعمل مع نطاق معين من الأشعة تحت الحمراء؛ لذا، إذا تم استخدام أنواع مختلفة من المصابيح دون إعادة ضبط الإعدادات، فإن الخصائص الحرارية ستتغير.
من المتوقع أن يحتاج النظام إلى فترة قصيرة لتحقيق استقرار في الأداء؛ بعد ذلك، يمكن تحديد نقاط المراقبة وتحديد الحدود المسموح بها.