V továrně na výrobu čipů nejsou procesy měkkého a tvrdého zahřívání jen „termickými kroky“. Jsou to nástroje pro kontrole kvality výrobku. Změna teploty o 1 °C během procesu litografie může ovlivnit klíčové rozměry čipu, a vznik částic během zahřívání může zničit čip ještě předtím, než dojde k jeho rozřezání. Potřebujete topení, které respektuje termické limity a dodržuje pravidla čistých prostor.
Náš topný systém je postaven na krátkovlnných infračervených emitory a systému recirkulace vzduchu. Díky tomu zůstává teplota na povrchu čipu v mezích ±0,1 °C v celé oblasti zahřívání. Opakovatelnost teploty je ±0,5 °C, takže stejný termický profil se objevuje u každé série výrobků.
Materiály použité v komoře mají nízkou míru uvolňování látek, a cesta vzduchu je kompatibilní s systémem HEPA – to zaručuje kontrolu počtu částic na úrovni třídy 1–100. Nulový vznik částic není jen slogán – je to dosaženo díky interní filtraci a povrchům, které neuvěznějí nečistoty ve svých štěrbinách. Spotřeba energie je kalibrována podle požadavků procesu, takže se nezahřívá zbytečná hmotnost a náklady na provoz zůstávají předvídatelné.
Sestavování čipů vyžaduje procesy zahřívání fotorezistů v přesně stanovených časových a teplotních intervalech a častou výměnu produktů. Tento topný systém zajišťuje, že procesy měkkého a tvrdého zahřívání probíhají v požadovaných mezích – méně odchylek v rozměrech čipů, lepší výtěžnost výroby. Kompatibilita s čistými prostorami snižuje počet částic, což je důležité u pokročilých technologií. Systém je navržen pro 24/7 provoz, s komponentami určenými k nepřetržitému provozu a intervaly údržby plánovanými tak, aby nedocházelo k neplánovaným výpadkům.
Je potřeba speciální, stabilní napájecí zdroj a spojení s systémem odvodu odpadního vzduchu odpovídající standardům čistých prostor. Úpravy budou záviset na rozložení linek a mohou vyžadovat krátké přerušení provozu. Rozhraní nástroje a plynové panely musí být přizpůsobeny tomu, co již máte.
Poskytujeme dimenzionální výkresy a seznam kontrol při zkoušení, abychom usnadnili integraci. Ale je potřeba si předem promyslet napájení – jinak to zpomalí výrobu.