Wie man eine Klasse-100-Reinraumumgebung während der Erwärmung von Halbleiterwafern tatsächlich sauber hält
Wenn man Halbleiterwafern erwärmt, weiß man bereits, dass die Temperaturkontrolle nur die halbe Miete ist. Das eigentliche Problem sind die Partikel. In einer Klasse-100-Umgebung kann bereits ein winziger Splitter, der von einem Heizelement abfällt, dazu führen, dass die gesamte Produktion ruiniert wird. Das ist frustrierend – und außerdem teuer.
Deshalb verwenden wir für unsere Infrarotlampen hochreinen synthetischen Quarz. Dadurch wird dieses Risiko ausgeschlossen.
Warum das Material wichtig ist
Standardglas oder billiger Quarz können die hohen Temperaturen nicht aushalten. Unter Belastung beginnen sie zu gasieren – oder schlimmer noch: Sie zerfallen in kleine Stücke. Dadurch entstehen mikroskopisch kleine Partikel oder chemische Dämpfe, die direkt auf die Wafer gelangen.
Wir verwenden hochreinen Quarz, weil er an der Oberfläche weder kristallisiert noch verschleißt. Zudem sendet Infrarotstrahlung die Energie direkt auf das Substrat – man braucht daher keine gezielte Luftzufuhr. Dadurch entstehen keine Störungen durch Wind, der Kontaminanten über den Arbeitsbereich trägt. Es ist somit ruhig, sauber und vorhersehbar.
Die richtige Hitzeerzeugung
Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie schnell auf die gewünschte Temperatur kommen und diese auch genau halten können. Durch Anpassung der Dichte des Wolframfilaments sowie der Dicke der Quarzwand können wir die exakte Spektralausbeute einstellen.
Falls Sie eine hohe Leistung für schnelle Verarbeitungsprozesse benötigen, bieten die Hochleistungsgeräte genau das. Doch Achtung: Stellen Sie sicher, dass Ihr Kühlsystem wirklich in der Lage ist, diese Art von Wärme abzuführen. Wenn die Kühlung zu schwach ist, können Probleme mit den Sensoren auftreten – was wirklich ärgerlich ist.
Installierung und die „goldene Regel“ bezüglich des Quarzes
Wir haben die Anschlüsse standardisiert, sodass die Lampen problemlos in Ihre bestehenden Heizanlagen eingebaut werden können. Wir haben außerdem großen Wert auf die Dichtungen an den Endkappen gelegt – dort treten normalerweise Lecks auf.
Aber hier ist der wichtigste Punkt: Berühren Sie diese Lampen auf keinen Fall mit bloßen Händen!
Quarz ist zwar brüchig, aber auch empfindlich. Die Öle in der Haut können Hotspots erzeugen, die die Lampe viel zu früh zerstören. Nutzen Sie stattdessen fusselfreie Handschuhe sowie Isopropylalkohol zum Reinigen.
Betreten Sie die Lampen richtig an, verbinden Sie sie korrekt – dann bleiben sie tausende von Zyklen lang stabil, ohne dass auch nur ein einziger Partikel freigesetzt wird.