Goldbeschichtete Infrarotlampe für Halbleiter

Thu, 23 Jul 2026 10:02:19 +0800

Sichere Bedingungen durch goldbeschichtete Infrarotlampen bei der chemischen Reinigung
Seien wir ehrlich: Die chemische Reinigung in Halbleiterfabriken ist eine äußerst heikle Angelegenheit. Man hat es hier mit Lösungsmitteln zu tun, die am liebsten in Flammen aufgehen oder explodieren würden. Eine gewöhnliche Infrarotlampe in diese Umgebung zu bringen, bedeutet einfach, Probleme zu provozieren.

Deshalb verwenden wir goldbeschichtete Quarzlampen mit einer besonderen Abdichtung. Der Zweck ist es, Funken schon im Keim zu ersticken und sicherzustellen, dass die Chemikalien die Ausrüstung nicht zerstören.

Zweilamellenlampe mit Goldbeschichtung

Wed, 24 Jun 2026 01:32:18 +0800

Bei einer Linienlänge von 300 mm reicht bereits eine Abweichung von einem halben Grad während des sanften Trocknungsprozesses oder beim Übergang zum intensiven Trocknungsprozess aus, um die CD-Scheiben zu beeinflussen – was wiederum zu Fehlern führt und die Güte der Produkte beeinträchtigt. Wir haben daher eine Doppelröhrenlampe mit Goldbeschichtung entwickelt, um diese thermischen Unwägbarkeiten auszuschließen.

Was technisch wichtig ist:
Die Doppelröhrenlampe mit Goldbeschichtung strahlt kurzwelliges Infrarot aus, das direkt in den Photoresisten und die Schichten eindringt. Die Goldbeschichtung reflektiert das Infrarot zurück auf das Zielobjekt – dadurch steigt die Effizienz und die Temperatur der Röhre sinkt. Dadurch wird das Risiko von Partikeln reduziert. Auf der gesamten Waferfläche wird eine Konstanz von ±0,1°C erreicht; nach dem Öffnen und Schließen der Tür stabilisiert sich die Temperatur schnell. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant, wobei die Intensität nur um weniger als 5% abnimmt. Dadurch kann der Prozess ohne ständige Anpassungen wiederholt werden.

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Goldbeschichtete Infrarotlampe für Halbleiter

Zweilamellenlampe mit Goldbeschichtung