Sichere Entfernung für die Wafererwärmung

Fri, 10 Jul 2026 02:09:23 +0800

Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden: Die Wahrheit über die Erwärmung von Wafern
Bei der Arbeit mit Halbleitern ist jede verschwendete Watt-Einheit mehr als nur eine Position im Budget – es handelt sich dabei um ein Risiko für Kontaminationen. Wenn man Wafer erwärmt, möchte man, dass jede Sekunde dieser Infrarotenergie auf das Substrat trifft. Keine Verluste. Keine Verschwendung.

Deshalb verwenden wir reflektierende Oberflächen, die mit Gold beschichtet sind. Anstatt dass die Energie in den Gehäusekörper abfließt, wird sie sozusagen zurück in Richtung des Wafers gelenkt.

Energieeffiziente Halbleiterheizung

Wed, 01 Jul 2026 07:48:09 +0800

Im Bereich der Lithografie ist das Erhitzen des Photoresists keine vorbereitende Maßnahme – es handelt sich vielmehr um eine wichtige Schritt zur Kontrolle der Linienbreite. Wenn die Heizplatte ihre Position verändert, ändert sich auch die Gleichmäßigkeit auf dem Wafer – dadurch steigt die Anzahl der verschwendeten Wafer rapide an.

Was wirklich wichtig ist:
Wir haben diese Heizplattform so konzipiert, dass sie eine wiederholbare Temperatursteuerung ermöglicht. Über die gesamte Fläche des Wafers bleibt die Temperatur innerhalb von ±0,1°C konstant – dadurch bleiben die Profile beim Weich- und Hartbrennen immer identisch. Der Heizer nutzt Kurzwellen-Infrarotstrahlung sowie Quarzkomponenten, wodurch eine schnelle Erwärmung sowie eine gute Wärmeübertragung gewährleistet werden – ohne Hotspots.

Heizen on Enhance Your Warm IR Life

Sichere Entfernung für die Wafererwärmung

Energieeffiziente Halbleiterheizung