Heizgerät zur Trocknung von MEMS Sensorwafern

Fri, 17 Jul 2026 02:28:26 +0800

Wie man verhindert, dass die IR-Lampen explodieren
Seien wir ehrlich: Das Trocknen von MEMS-Sensorwafern nach einer chemischen Reinigung ist ein äußerst riskanter Prozess. Die Heizelemente befinden sich schließlich mitten in brennbaren, explosiven Lösungsmitteldämpfen.
Standard-IR-Lampen eignen sich dafür nicht. Wenn man solche Lampen in dieser Umgebung verwendet, riskiert man eigentlich einen Brand. Deshalb bauen wir unsere Lampen mit einer speziellen Art von Umhüllung – sie soll die Wärme im Inneren halten und die Gefahren draußen lassen.

Wie wir Funken verhindern
Bei der chemischen Reinigung entstehen sofort Probleme, sobald ein Funke oder eine heiße Oberfläche die „untere Explosionsgrenze“ des Lösungsmittels erreicht. Um das zu verhindern, platzieren wir die Heizelemente in einer hochreinen Quarzkapsel. Doch das reicht nicht aus. Wir fügen außerdem eine zweite Abdichtung dort hinzu, wo die Elektroden aufeinandertreffen. Dadurch wird verhindert, dass die giftigen Chemikalien in die internen Schaltungen eindringen können. Zudem verwenden wir spezielle Glas-Metall-Abdichtungen sowie Klebstoffe, die keine Gase abgeben. Selbst wenn die Kammer vollständig mit VOCs gesättigt ist, bleibt der elektrische Bogen dort, wo er hingehört.

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Heizgerät zur Trocknung von MEMS Sensorwafern