Quarzglas Hülle für fab IR Lampe

Sun, 31 May 2026 02:54:23 +0800

Auf der Lithografie-Ebene geht es beim Soft Bake und Hard Bake nicht nur um das Trocknen des Photoresists. Sie legen das thermische Budget fest, das Ihre Linienbreitenkontrolle, das Seitenwandprofil und die gleichmäßige Durchlaufgeschwindigkeit des Wafers durch die restliche Linie bestimmt. Wenn die IR-Lampe nicht richtig funktioniert – Hotspots an einer Stelle, Kaltstellen an einer anderen – verlieren Sie nicht nur eine Charge. Sie erhalten Ausschuss, Nacharbeit und eine schleichende Verringerung der Prozessreserve.
Wir haben unsere Quarzmanschette für IR-Lampen in der Fertigung entwickelt, um diese Variabilität direkt an der Quelle zu minimieren: genau dort, wo die Lampe auf die Prozesskammer trifft, wo Hitze, Sauberkeit und Wiederholbarkeit zusammenkommen.

Quarz on Enhance Your Warm IR Life

Quarzglas Hülle für fab IR Lampe