Aluminium Reflektor für IR Lampe

Tue, 14 Jul 2026 11:41:47 +0800

Die Wärme genau dorthin lenken, wo sie benötigt wird

Wenn Sie eine intelligente Fertigungsanlage einrichten, erkennen Sie schnell, dass es einfach ist, eine hocheffiziente IR-Lampe auszuwählen. Das eigentliche Problem ist jedoch die Steuerung dessen, wohin all diese Wärme tatsächlich gelangt.

Sie möchten schließlich nicht, dass die Energie dazu verwendet wird, den Raum zu erwärmen oder das Chassis der Maschine zu überhitzten. Dafür kommen Aluminiumreflektoren ins Spiel. Man kann sie als „Verkehrspolizisten“ für die Strahlungsenergie betrachten – sie leiten die Wärme auf das Werkstück und halten sie von allem anderen fern.

Reflektor für Wafer Aushärtungslampe

Fri, 26 Jun 2026 01:58:49 +0800

Auch eine leichte Temperaturänderung von 0,3 °C während des Weichbrennvorgangs verändert das Profil des Photoresists. Das zeigt sich unmittelbar im Anschluss in Form von Fehlern bei der Lithografie, erhöhten Ausschussraten sowie Verzögerungen im Produktionsprozess. Die Leistung der Lampen zur Aushärtung der Wafer ist keine Theorie – es geht vielmehr um eine präzise Temperaturregelung sowie um die Vermeidung von Staubpartikeln im Prozess.

Was technisch wichtig ist: Wir haben den Reflektor so konstruiert, dass er die Strahlung der NIR-Lampen lenkt – dadurch befindet sich die Wafer in einem homogenen thermischen Feld mit einer Genauigkeit von ±0,1 °C. Dadurch werden Hotspots sowie ungleichmäßige Temperaturen vermieden. Das stabilisiert das thermische Gleichgewicht, das wiederum über den Weich- und Hartbrennvorgang entscheidet.

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Aluminium Reflektor für IR Lampe

Die Wärme genau dorthin lenken, wo sie benötigt wird

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